耐プラズマ性を有するコンパウンドを用いたExtensis®は、PECVD(プラズマ化学気相成長法)プロセスツールおよびスリットバルブドアの耐用年数を延長し、装置の停止時間を短縮します。柔軟性を有するExtensisシールは、FPD(フラットパネルディスプレイ)や太陽電池業界のお客様のニーズに対応するカスタム設計と無限の長さを実現します。
独自のDovetail®横断面設計がねじれを防止し、装着を容易にすることにより、シール性を最適化します。また、スリットバルブドアに対応する長方形の形状がコーナー部応力を低減し、シールの耐用年数の向上と経費削減を実現します。
*Patent Pending