플라즈마 저항에 강한 재질로 만들어진 Extensis Seal은 Slit Valve door 뿐만 아니라 PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition) 프로세스에
더욱 연장된 수명을 제공하며 장비의 다운타임을 감소시킵니다. Extensis Seal의 고유한 유연성은 디자인과 사이즈의 제한이 없는 맞춤형 씰 생산을
가능하게 하여 갈수록 증대되는 FPD(평판 디스플레이)와 태양광 제조의 까다로운 요구 조건을 만족시킵니다.
Dovetail의 독특한 디자인 설계는 롤링을 감소시켜 씰 성능을 최적화하며 설치 효율성을 높입니다. 직사각형으로 디자인된 이 씰은 코너 부분의
스트레스를 감소시키는 동시에 씰의 수명 및 원가 효율성을 증대시킴으로써 Slit Valve door에 완벽하게 적용됩니다.
*Patent Pending