그린 트위드의 Voraz™ 퍼플러(Perfluoroelastomer) 솔루션은 공정 챔버의 효율을 향상시키고, 툴 이용도를 극대화하며, FPD 및 솔라 제조 업체의 가동 시간을 증가시킵니다. Voraz는 CVD 및 에칭 플라즈마에 양호한 플라즈마 내성을 제공합니다. 정지 마찰력이 낮기 때문에 설치를 간편하게 하고 더 빠른 유지 보수가 가능하도록 해서 장비의 정지 시간을 줄입니다.
주문형 Voraz 실링은 5세대 이상의 슬릿 밸브 도어 및 챔버 리드에 가장 적합합니다. 그린 트위드의 특허 출원 중인 Extensis® 제조 공정을 사용하면 대형 실링 디자인의 개발이 가능합니다. Voraz는 재료의 특성과 디자인 유연성이 최적으로 결합되어 툴의 총 소유 비용을 줄일 수 있는 가장 완벽한 선택입니다.