Le SubFab est essentiel au maintien de l'efficacité opérationnelle de l'environnement de salle blanche qui le surplombe. Au fur et à mesure que les plaquettes subissent divers processus, dont la gravure et le dépôt, les gaz effluents, tels que les produits inflammables, oxydants et corrosifs, sont acheminés par des conduites d'échappement vers le SubFab pour y être éliminés en toute sécurité.

Les gaz qui circulent dans le SubFab se condensent dans les lignes d'échappement, ce qui peut entraîner le dépôt de particules et une défaillance prématurée de l'équipement. Les systèmes de gestion thermique sont utilisés pour augmenter les températures dans les lignes d'échappement afin de maintenir les molécules de gaz en mouvement. La migration vers des températures plus élevées pour éviter la condensation accroît le besoin de joints fiables dans les équipements, y compris les pompes, les unités de réduction et les vannes.

Les considérations relatives au choix du matériau du joint comprennent la résistance à la température et la résistance chimique aux gaz hautement réactifs et aux espèces radicalaires. Le choix ou l'installation d'un matériau inapproprié dans une application SubFab peut compromettre l'intégrité du joint et entraîner un événement de maintenance imprévu qui pourrait avoir un impact sur la production dans la salle blanche ci-dessus.

Dans les sous-fabrications, les élastomères sont souvent choisis comme matériau d'étanchéité. Les joints en élastomère sont flexibles, durables, faciles à installer et s'adaptent bien à de nombreuses surfaces différentes. Les élastomères fluorés, y compris les FKM et FFKM, sont souvent choisis comme matériaux d'étanchéité pour le SubFab.

Les FKM à usage général présentent une bonne compatibilité chimique et des capacités à haute température. Avec l'innovation technologique, les conditions de fabrication deviennent plus agressives et repoussent les limites des FKM à usage général dans les sous-fabrications. Le Fusion® F10 haute performance de Greene Tweed est un matériau élastomère hautement fluoré conçu spécifiquement pour l'industrie des semi-conducteurs, qui étend ses capacités là où les autres FKM commencent à se dégrader.

Les produits chimiques émergents et réactifs, tels que ceux que l'on trouve dans les procédés ALD et epi SiGe, ont une probabilité plus élevée de condensation et nécessitent des systèmes de gestion thermique qui augmentent les températures dans les lignes avant et arrière pour empêcher les gaz de déposer des particules sur l'équipement. En raison de l'augmentation des températures dans ces lignes, de nombreux fabricants de dispositifs de pointe ont opté pour des FFKM, tels que Chemraz® SFX, afin de garantir la sécurité et le temps de fonctionnement des outils.

Comme le Chemraz® SFX présente des températures de fonctionnement plus élevées (jusqu'à 300°C/572°F) et une résistance chimique plus large que les FKM, l'adoption du Chemraz® SFX permet de garantir la compatibilité future. L'expérience sur le terrain a démontré la résistance chimique d'une gamme d'effluents SubFab dans ces plages de température, et l'analyse interne de Greene Tweed a montré que le SFX offre une protection supplémentaire contre l'interaction chimique en ligne en limitant l'inclusion d'humidité et d'oxygène.

S'assurer que le bon joint torique est correctement installé dans l'assemblage du raccord KF minimise le risque de défaillance prématurée. Contrairement aux autres matériaux couramment utilisés dans le SubFab, qui sont généralement de couleur noire, le Chemraz® SFX est gris et le F10 est crème, ce qui permet de les distinguer plus facilement des autres matériaux et de réduire le risque d'installer le mauvais matériau.

En outre, l'avantage des performances du Chemraz® SFX dans des conditions difficiles repose sur la conception innovante de son joint. L'assemblage sur mesure de Greene Tweed permet de surmonter les limites mécaniques des raccords KF dans les environnements de process extrêmes et d'améliorer les performances du joint. L'assemblage sur mesure est disponible en différents matériaux, notamment en acier inoxydable, en aluminium et en PTFE. Les solutions Chemraz® SFX sont proposées dans un assemblage de couleur verte comme garantie supplémentaire pour s'assurer que le matériau et le joint appropriés sont utilisés.

S'appuyant sur un large portefeuille de matériaux élastomères, comprenant des composés à usage général et à haute performance, et sur une expertise dans l'industrie des semi-conducteurs, les ingénieurs de Greene Tweed évaluent soigneusement chaque application et recommandent le matériau le mieux adapté, assurant ainsi un coût de propriété supérieur.

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