Fusion® F07

適用於業界要求最苛刻的 SubFab 應用

半導體 SubFab 運營商知道停機時間和維護成本高昂，這就是為什麼 Fusion® F07 旨在滿足並超越 SubFab 環境的迫切需求。

這種新型 FKM 彈性體目前可作為真空系統生產線的單個 O 形圈或元件使用，用於處理蝕刻和 CVD 工藝中常見的氧基和氟基化學成分。Fusion® F07 擁有高達 355°F （180°C） 的連續工作溫度，在極端條件下的預期使用壽命為 6 個月，遊覽服務溫度為 428°F （220°C）。當設備故障不是一種選擇時，選擇格林-特威德。