您是否需要一種彈性體 O 形圈或密封解決方案，以在最惡劣的半導體應用中的極端溫度下承受腐蝕性液體、氣體和等離子體？以下是半導體製造商面臨的關鍵密封問題的答案：

哪種密封件最適合半導體製造工藝？

全氟橡膠（或FFKM）密封材料以其對腐蝕性化學品、極端溫度和等離子體環境的出色耐受性而聞名，是像半導體製造這樣具有腐蝕性的製造工藝的理想選擇。Greene Tweed提供Chemraz®密封解決方案，以其對極端溫度，化學品和等離子環境的出色抵抗力而聞名。

是什麼讓格林特威德的 Chemraz® 密封解決方案與眾不同？

在Greene Tweed，我們為我們的Chemraz®密封解決方案感到自豪，這些解決方案旨在超越世界上最惡劣的環境。160 年來，我們為包括半導體行業在內的關鍵行業配備了性能良好的材料和工程元件——沒有藉口，沒有例外。

在所有彈性體材料中，Chemraz® 具有最寬的溫度範圍和無與倫比的耐化學性，是最具挑戰性的半導體應用的首選。我們卓越的品質、精密的工程和可定製性可減少停機時間並提高晶圓加工良率。

什麼樣的半導體製造工藝受益於Greene Tweed的Chemraz®密封解決方案？

Chemraz® FFKM密封解決方案是各種半導體設備的理想選擇，例如：

• 導體蝕刻
• 介電質蝕刻
• PECVD
• ALD
• RTP
• 濕式清潔
• 腔室密封
• 真空傳輸閥門和 BSV
• 鐘擺閥和閘閥
• 靜電卡盤和基座屏障密封
• 化學品輸送

Greene Tweed的密封解決方案能否承受腐蝕性清潔和蝕刻化學品？

絕對！Chemraz® 具有出色的耐化學性，使其與半導體製造中使用的腐蝕性清潔和蝕刻化學品高度相容。即使暴露在惡劣的等離子體環境和反應性化學品中，它也能保持穩定，確保最佳性能和使用壽命。

Greene Tweed可以定製密封件以適應特定的半導體應用嗎？

是的，在Greene Tweed，我們提供一系列密封解決方案，可以根據您的特定要求進行定製。我們的工程團隊與半導體製造商密切合作，設計符合設備規格並提供優化性能的定製密封件。

我想在我的半導體應用中實施Greene Tweed最新的密封解決方案。如何開始該過程？

要瞭解為您的半導體設備量身定製的FFKM密封解決方案的優勢，請聯繫我們的Greene Tweed專家團隊。我們的工程師隨時準備討論您的規格並提供技術指導。我們將繼續努力反覆運算、改進和提供高品質的密封解決方案，以提升您的半導體製造工藝。