在廠下真空系統中比標準 FKM 密封件更耐用

賓夕法尼亞州蘭斯代爾 - 全球領先的高性能密封解決方案和工程部件製造商 格林-特威德宣佈推出 Fusion® F07，一種性能增強的氟橡膠。Fusion® F07由格林-特威德材料科學家和應用工程師開發，專門用於在高達355°F（180°C）的溫度下承受半導體加工子生產線中常見的蝕刻和CVD氧/氟基氣體。

Fusion® F07 的預期使用壽命至少為 6 個月，在廠下真空系統生產線中的使用壽命比標準 FKM 更長。因此，新的性能增強的 FKM 延長了計劃維護活動之間的時間。值得注意的是，在應用不需要FFKM化合物的情況下，它提供了更好的總擁有成本。

“在格林-特威德，我們使客戶能夠在世界上最苛刻的環境中高效、安全地運營。我們深知半導體行業需要可靠性和長壽命。Fusion® F07是精心研究和開發的結果，不僅旨在延長其系統的使用壽命，還旨在提高運營效率，“格林-特威德總裁兼首席執行官Magen Buterbaugh說。

Fusion® F07可以作為密封元件或單獨的O形圈購買。客戶可以毫不費力地升級到Fusion® F07，並體驗到延長使用壽命的好處，從而降低運營成本，因為密封件可以與其他行業標準（KF/ISO法蘭接頭）密封件進行更換。藍色外圈便於在安裝和更換時識別。Fusion® F07 密封件提供大多數典型尺寸，包括 KF16、KF25、KF40、KF50、ISO63、ISO80、ISO100、ISO160 和 ISO200。

四十多年來，作為半導體行業密封解決方案的全球領先供應商，格林-特威德設計了先進的彈性體密封件和熱塑性部件，這些部件在世界半導體晶圓廠關鍵工藝領域的各種關鍵任務設備中都有發現，包括蝕刻、沉積、水性和電化學（電鍍）。該公司目前正在韓國投資，其即將到來的最先進的製造設施預計將於今年開始生產。“格林-特威德有投資以滿足全球客戶需求的歷史，韓國的擴張為該組織提供了一個支援該地區半導體行業持續增長的機會。這項數百萬美元的投資代表了公司全球製造能力的顯著提高，同時實現了供應鏈的彈性，“Magen Buterbaugh說。