Fusion® F07
半導體
用於半導體子晶圓廠的增強型彈性體
產品詳情
適用於業界要求最苛刻的 SubFab 應用
半導體 SubFab 運營商知道停機和維護成本高昂，這就是 Fusion® F07 旨在滿足並超越 SubFab 環境的苛刻要求的原因。這種新型 FKM 彈性體目前可作為真空系統生產線的單個 O 形圈或元件提供，用於處理蝕刻和 CVD 工藝中常見的氧基和氟基化學物質。
Fusion® F07 在高達 355°F （180°C） 的溫度下仍能保持其形狀和功能，並擁有至少六個月的預期使用壽命。當設備故障不是一種選擇時，選擇格林-特威德。
特色及優勢
- 在氧基和氟基化學中比標準氟橡膠具有更好的等離子體性能
- 在應用不需要FFKM化合物的情況下，總擁有成本更高
- 最短預期壽命為六個月
- 形狀配合可更換為其他行業標準 （KF/ISO） 密封件
- 藍色外圈便於在安裝和更換時識別
- O型圈可單獨提供，也可作為元件提供
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聯繫我們，詳細瞭解 Fusion® F07 如何在您的 SubFab 應用中工作。
產業與應用
專為 SubFab 打造的高性能 FKM 彈性體
Fusion® F07 產品設計用於各種半導體應用。無論環境要求多麼苛刻，我們的團隊都會與您一起確定適合工作的解決方案。
應用包括：
- ISO-KF 真空接頭，包括典型尺寸：KF16、KF25、KF40、KF50、ISO63、ISO80、ISO100、ISO160 和 ISO200
- 真空系統中的加熱和非加熱管路
可靠的性能
Fusion® F07 是一款久經考驗、可靠的工程元件解決方案。它以單獨的 O 形圈和元件的形式提供。
提高純度和等離子體性能
