SubFab对于维持其上方洁净室环境的运行效果至关重要。当晶圆经历包括蚀刻和沉积在内的各种过程时，像可燃物、氧化剂和腐蚀剂这样的废气会通过排气管道被输送到SubFab进行安全处理。

流入SubFab的气体在排气管道内凝结，这可能会沉积颗粒，导致设备过早失效。热管理系统被用来提高排气管道内的温度，以保持气体分子流动。为了避免凝结物，向更高温度的迁移使得设备需要可靠的密封，包括泵、消减装置和阀门。

密封材料的选择考虑包括对高活性气体和自由基物种的温度和耐化学性。在SubFab应用中选择或安装错误的材料可能会损害密封的完整性，并可能导致计划外的维修事件，从而影响上面的洁净室的生产。

在SubFab内，通常选择弹性材料作为密封材料。弹性密封件灵活、耐用、易于安装，并能很好地适应许多不同的表面。氟橡胶，包括FKMs和FFKMs，经常被选作SubFab的密封材料。

通用型 FKM 具有良好的化学兼容性和耐高温性能。随着技术的不断创新，工厂的条件变得越来越苛刻，这也突破了通用型 FKM 在 SubFab 中的极限。格瑞特維高性能的Fusion® F10是一种高氟弹性体材料，专为半导体行业设计，可在其他 FKM 开始出现故障时延长其性能。

新兴的反应性化学制品，如ALD和epi SiGe工艺中的化学制品，有较高的冷凝概率，需要热管理系统来提高前线和排气管道的温度，以防止气体在设备上沉积颗粒。随着这些生产线内温度的上升，许多领先的设备制造商已经改用FFKM，如Chemraz® SFX，以确保安全和工具正常运行时间。

与FKM相比，Chemraz® SFX的工作温度最高可达300°C/572°F，耐化学性更强，因此采用Chemraz® SFX有助于确保产品的兼容性。有据可查的现场经验表明，Chemraz® SFX在这些温度范围内对一系列SubFab流出物具有耐化学性，内部格瑞特維 分析表明，SFX通过限制湿气和氧气的进入，为在线化学作用提供了额外的保护。

确保正确的O型圈被正确地安装到KF接头组件中，可以最大限度地减少过早发生故障的机会。与SubFab的其他常用材料通常是黑色的不同，Chemraz® SFX是灰色的，F10是乳白色的，这使它们更容易与其他材料区分开来，减少了安装错误材料的机会。

此外，Chemraz® SFX 在恶劣条件下的性能优势还取决于其创新的密封设计。格瑞特維Chemraz® SFX 的定制组件克服了 KF 接头在极端工艺环境中的机械限制，提高了密封性能。定制组件可采用不同的材料，包括不锈钢、铝和聚四氟乙烯。Chemraz® SFX解决方案还提供绿色组件，作为额外的保障措施，确保使用正确的材料和密封件。

格瑞特維 工程师以广泛的弹性材料组合（包括通用和高性能化合物）和半导体行业的专业知识为后盾，对每种应用进行仔细评估，并推荐最适合的材料，从而确保卓越的拥有成本。

你可能也喜欢