지속적인 수요와 함께 글로벌 반도체 부족은 칩 제조업체에 용량 증대에 엄청난 압력을 가하고 있습니다. 반도체 제조업체가 생산량을 늘리기위한 노력을 강화하고 정부가 장기적인 문제를 완화하기 위해 CHIPS Act 및 FABS Act로 자금을 제공하고 있지만 즉각적인 용량 제약을 해결하지는 못할 것입니다. 현재 거의 모든 칩 제조업체는 고객의 요구를 충족시키기 위해 수율과 생산성을 극대화하는 데 주력하고 있습니다.

장비 유지보수 및 예비 부품/소모품의 적절한 사용은 팹을 계속 가동하는 데 매우 중요합니다.  신중한 재료 선택, 설계 및 적절한 설치는 생산 속도를 늦추거나 중단하고 생산성 손실로 이어질 수 있는 누출 및 기타 씰 실패를 방지하는 데 도움이 될 수 있습니다.   Greene Tweed는 30년 이상 Chemraz® FFKM 씰과 같은 중요한 씰링 부품을 업계에 지원해 왔습니다. 우리는 칩 제조 생산 장비에 사용되는 엘라스토머 씰의 설계, 개발 및 제조 분야의 선두 주자입니다.

의심 할 여지없이, 더 긴 씰 서비스 수명은 팹에 도움이 될 것입니다. 씰 수명을 최대화하는 빠르고 쉬운 방법 중 하나는 몇 가지 좋은 설치 관행을 따르는 것입니다.  현장에서 볼 수 있는 많은 씰 실패는 부적절한 설치의 결과이며, 가장 잘 알려진 방법을 사용하면 완전히 피할 수 있습니다. 지난 수십 년 동안 여러 씰 재료를 광범위하게 테스트한 후 당사의 엔지니어링 팀은 반도체 응용 분야에서 O-링의 수명을 연장하기 위한 모범 사례를 개발했습니다.

설치 – '경마장' 접근 방식을 사용하여 씰을 설치하지 마십시오. 한 지점에서 씰을 글 랜드에 누르기 시작하고 씰이 제자리에 올 때까지 원을 그리며 돌고 있습니다. 이로 인해 스트레치가 높은 국부적 인 영역이 발생하여 씰의 과도한 응력을받은 위치의 작은 부분에 균열이 발생할 수 있습니다. 이로 인해 조기 누출이 발생하고 올바르게 설치된 경우 예상 수명이 단축됩니다.

대신 씰에 스트레치를보다 균일하게 분배하는 앵커 포인트 설치 방법을 사용하십시오.

제거 – 항상 글랜드 표면을 긁지 않는 부드러운 도구를 사용하십시오. 사용한 씰을 꺼내는 데 사용되는 팹 바닥에서 금속 픽을 찾는 것이 일반적입니다. 불행히도 이러한 도구를 사용하면 글랜드 표면을 긁고 글랜드 하드웨어에 홈이 생길 수 있습니다. 이러한 가우징은 필연적으로 고진공 환경에서 누출 문제를 일으키며 진단하기가 매우 어려울 수 있습니다. 플라스틱 공구의 사용은 일상적인 유지 보수 중에 씰이 교체될 때 글랜드 무결성을 보존하기 때문에 훨씬 선호됩니다.

문제 영역 – 일부 씰은 ESC 씰 및 엔드 이펙터 패드와 같은 작은 단면 씰을 포함하여 설치가 까다롭습니다. 이와 같은 상황에서 Greene Tweed는 현장에서 설치 실패 가능성을 줄이기 위해 고유한 설치 도구를 설계하고 제공한 경험이 있습니다.

씰링 문제를 처리하는 방법에 대한 자세한 내용은 그린 트위드에 문의하세요.