Chemraz® G57
반도체
반도체용 다목적 엘라스토머
제품 정보
가동 시간 및 처리 수율 향상
까다로운 건식 플라즈마 시스템의 요구 사항을 충족하는 맞춤형 웨이퍼 공정 씰이 필요하십니까? Chemraz® G57의 고유한 배합은 플라즈마 저항성을 개선하고 오염을 최소화하여 정적 및 동적 애플리케이션 모두에서 가동 중단 시간을 줄이고 웨이퍼 처리 수율을 높입니다.
Chemraz® G57은 고온 성능과 우수한 O2 플라즈마 호환성을 갖춘 FFKM 화합물로, 뛰어난 내화학성과 최대 572°F(300°C)의 온도에서 작동하는 뛰어난 내화학성을 자랑합니다.
기능 및 이점
- 다양하고 공격적인 화학 환경에서 뛰어난 내플라즈마성 제공
- 최대 572°F / 300°C의 높은 서비스 온도
- 입자화 최소화
- 낮은 경도로 설치가 용이
- 동적 애플리케이션을 위한 낮은 고착 속성
- O-링, 맞춤형 CX, 슬래브로 제공되며 가용성에 제한이 없습니다.
- 글로벌 제조 역량
산업 및 응용 분야
까다로운 응용 분야를 위해 설계된 고성능 탄성 중합체
Chemraz® G57 제품은 다양한 응용 분야에서 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 아무리 까다로운 환경에서도 고객과 협력하여 작업에 적합한 솔루션을 결정할 수 있습니다.
응용 분야는 다음과 같습니다.
- 엔드포인트 창
- 씰
- 염료 플라즈마 에칭
- 증 착
- 원격 플라즈마 세척
- 마른 재
- 산화
- 확산
- 금속화
신뢰할 수 있는 성능
Chemraz® G57은 입증되고 신뢰할 수 있는 엔지니어링 부품 솔루션입니다. 이 제품은 O-링, 맞춤형 CX 및 슬래브 형태로 제공됩니다.
강화된 플라즈마 저항
