제품 정보

Fusion® F07은 서브팹 환경의 까다로운 요구 사항을 충족하고 그 이상을 충족하도록 설계되었습니다.

업계에서 가장 까다로운 서브팹 애플리케이션용

반도체 서브팹 운영자는 다운타임과 유지보수에 많은 비용이 든다는 것을 알고 있기 때문에 Fusion® F07은 서브팹 환경의 까다로운 요구 사항을 충족하고 이를 뛰어넘을 수 있도록 설계되었습니다. 현재 진공 시스템 라인용 개별 O-링 또는 어셈블리로 제공되는 이 새로운 FKM 엘라스토머는 식각 및 CVD 공정에서 흔히 사용되는 산소 및 불소 기반 화학 물질을 처리할 수 있도록 제작되었습니다.

Fusion® F07은 최대 355°F(180°C)의 온도에서도 형태와 기능을 유지하며 최소 6개월의 예상 수명을 자랑합니다. 장비 고장이 불가피한 경우 그린 트위드를 선택하세요.

Fusion® F07 표준 FKM보다 산소 및 불소 기반 화학 물질에서 플라즈마 성능 향상

기능 및 이점

  • 산소 및 불소 기반 화학 물질에서 표준 FKM보다 플라즈마 성능 향상
  • 애플리케이션에 FFKM 컴파운드가 필요하지 않은 경우 총 소유 비용 개선
  • 최소 예상 수명 6개월
  • 다른 산업 표준(KF/ISO) 씰로 교체 가능한 폼핏 교체 가능
  • 파란색 외부 링으로 설치 및 교체 시 식별이 용이합니다.
  • 개별 또는 어셈블리로 제공되는 O-링

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당사에 문의하여 Fusion® F07이 귀사의 서브팹 애플리케이션에서 어떻게 작동하는지 자세히 알아보십시오. 

산업 및 응용 분야

Fusion® F07 고성능 FKM 엘라스토머

서브팹용으로 제작된 고성능 FKM 엘라스토머

Fusion® F07 제품은 다양한 반도체 애플리케이션에서 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 아무리 까다로운 환경이라도 소니 팀은 고객과 협력하여 작업에 적합한 솔루션을 결정합니다.

응용 분야는 다음과 같습니다.

  • 일반적인 크기를 포함한 ISO-KF 진공 피팅: KF16, KF25, KF40, KF50, ISO63, ISO80, ISO100, ISO160 및 ISO200
  • 진공 시스템의 가열 및 비가열 라인
Fusion® F07은 입증되고 신뢰할 수 있는 엔지니어링 컴포넌트 솔루션입니다.

신뢰할 수 있는 성능

Fusion® F07은 입증되고 신뢰할 수 있는 엔지니어링 부품 솔루션입니다. 개별 O-링 및 어셈블리 형태로 제공됩니다.

향상된 순도 및 플라즈마 성능

Fusion® F07 프리미엄 엘라스토머

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