웨이퍼 세정 장비의 신뢰성을 개선하는 방법은 다음과 같습니다.

반도체 웨이퍼 세척 과정에서 독한 화학 물질과 높은 온도로 인해 부품이 균열, 누출 또는 기계적으로 고장날 수 있습니다(예상 부품 수명 전에). 반도체 칩 제조의 다운타임이나 생산 중 발생할 수 있는 후속 손상은 막대한 비용을 초래합니다. OEM과 팹은 이를 피하고 싶어 합니다.

습식 화학 웨이퍼 세정 부품의 수명과 신뢰성을 어떻게 개선할 수 있을까요? 이 질문으로 한 선도적인 반도체 장비 제조업체가 그린 트위드에 연락을 취했습니다.

문제 설명: 가혹한 세척 화학 물질로 인해 현재 부품 설계에 문제가 발생하여 누출 및 부품 수명이 기대에 미치지 못했습니다.

솔루션: 그린 트위드 솔루션으로 문제를 해결하고 장비의 수명과 안정성을 개선합니다.

그린 트위드의 엔지니어 팀은 OEM의 엔지니어와 협력하여 독창적인 솔루션을 개발했습니다: 기존의 다중 부품 어셈블리를 단일 부품 통합 솔루션으로 교체하여 부품 인터페이스에서 누출 가능성을 없앤 것입니다. 그린 트위드는 반도체 등급 소재인 ONX®600으로 제작된 통합 엔지니어링 설계 솔루션을 제공했습니다. 탄력적인 소재로 제작된 통합 설계가 어떻게 수명과 신뢰성을 개선하고 누출 문제를 완화하는지 쉽게 알 수 있습니다.

ONX®600이 이상적인 선택이 된 이유를 자세히 알아보겠습니다. ONX®600은 초순수(금속 및 이온 함량이 낮은) 불소 중합체 기반의 탄소 섬유 강화 복합재입니다. 이 소재는 상온 및 고온(500°F/260°C)에서 기계적 마모 특성이 우수한 고성능 소재입니다. ONX®600은 SPM(황산과산화물, 피라냐), SC1(수산화암모늄-과산화물), SC2(HCl-과산화물) 및 묽은 HF 세척액과 같은 강한 산성 화학 물질에 대한 내화학성이 있으며 전기 전도성이 있어 스핀 스프레이 작용(반도체 장치의 섬세한 특징 보호)으로 인한 정전기를 제거할 수 있습니다. 

2년간의 프로젝트 테스트와 현장 시험 끝에 ONX®600 일체형 통합 솔루션은 우수한 성능을 제공했으며 새로운 장비 제작에 사용할 수 있는 자격을 성공적으로 획득했습니다. 새로운 설계를 채택한 고객은 가장 독한 화학 물질을 사용하는 애플리케이션에서 평균 교체 간격(MTBR)이 최대 4배까지 개선되었다고 보고했습니다!

그린 트위드와 협력하는 반도체 장비 제조업체는 그리 많지 않습니다. 문제를 완화하고, 입자 형성을 줄이며, MTBR/MTBF를 연장하는 것은 모든 습식 공정 OEM 또는 팹의 중요한 과제입니다. 고정밀 웨이퍼 제조 공정을 달성하는 데 필수적인 이러한 도구는 특히 고급 노드의 수율과 신뢰성을 높이는 데 필수적입니다.

그린 트위드는 고객과 협력하여 애플리케이션의 요구 사항을 충족하는 솔루션을 최적화하기 위해 최선을 다합니다. 당사의 목표는 다운타임을 줄이고 문제를 제거하며 미래의 파트너가 Greene Tweed와의 협력을 통해 가치와 이점을 얻을 수 있도록 엔지니어링 솔루션을 원활하게 전환할 수 있도록 지원하는 것입니다.

웨이퍼 공정 시스템의 신뢰성을 개선하기 위해 극복해야 하는 유사한 설계 과제가 있습니까? 그린 트위드 담당자에게 연락하여 GT 엔지니어링이 무엇을 할 수 있는지 알아보십시오.