Die weltweite Halbleiterknappheit in Verbindung mit der anhaltenden Nachfrage übt einen enormen Druck auf die Chiphersteller aus, ihre Kapazitäten zu erhöhen. Zwar verstärken die Halbleiterhersteller ihre Anstrengungen zur Steigerung der Produktion, und die Regierung stellt mit dem CHIPS Act und dem FABS Act Finanzmittel zur Verfügung, um die langfristigen Herausforderungen zu bewältigen, doch werden diese Maßnahmen die unmittelbaren Kapazitätsengpässe wohl kaum lösen können. Im Moment konzentrieren sich fast alle Chiphersteller auf die Maximierung von Ausbeute und Produktivität, um die Anforderungen der Kunden zu erfüllen.

Die Wartung der Anlagen und die ordnungsgemäße Verwendung von Ersatzteilen/Verbrauchsmaterialien sind entscheidend für den Betrieb der Fabriken. Eine sorgfältige Materialauswahl, Konstruktion und ordnungsgemäße Installation kann dazu beitragen, Leckagen und andere Dichtungsausfälle zu vermeiden, die die Produktion verlangsamen oder sogar stoppen und zu Produktivitätsverlusten führen können. Greene Tweed beliefert die Industrie seit über 30 Jahren mit kritischen Dichtungskomponenten, wie z. B. Chemraz® FFKM-Dichtungen. Wir sind führend in der Konstruktion, Entwicklung und Herstellung von Elastomerdichtungen, die in Produktionsanlagen für die Chipherstellung verwendet werden.

Eine längere Lebensdauer der Dichtungen ist zweifelsohne von Vorteil für die Produktionsstätten. Eine schnelle und einfache Möglichkeit, die Lebensdauer der Dichtungen zu maximieren, ist die Einhaltung einiger guter Installationspraktiken. Viele Dichtungsausfälle, die wir in der Praxis beobachten, sind auf eine unsachgemäße Installation zurückzuführen, die durch die Anwendung einiger bewährter Methoden vollständig vermieden werden kann. Nach ausgiebigen Tests verschiedener Dichtungsmaterialien in den letzten Jahrzehnten haben unsere Ingenieurteams bewährte Verfahren entwickelt, um die Lebensdauer von O-Ringen in Halbleiteranwendungen zu verlängern.

Einbau - Vermeiden Sie es, Dichtungen nach dem Prinzip der "Rennbahn" einzubauen, d. h. mit dem Einpressen der Dichtung in die Stopfbuchse an einem Punkt zu beginnen und dann kreisförmig zu fahren, bis die Dichtung an ihrem Platz ist. Dies kann zu lokalen Bereichen mit hoher Dehnung führen, die Risse in kleinen Abschnitten an den überlasteten Stellen der Dichtung verursachen können. Dies führt zu einer vorzeitigen Leckage und verkürzt die erwartete Lebensdauer bei korrektem Einbau.

Verwenden Sie stattdessen eine Ankerpunktmethode, die die Dehnung einer Dichtung gleichmäßiger verteilt.

Entfernen - Verwenden Sie immer weiche Werkzeuge, die die Stopfbuchsenoberfläche nicht zerkratzen. In der Fabrik findet man häufig Metallspitzen, die zum Herausziehen gebrauchter Dichtungen verwendet werden. Leider kann die Verwendung dieser Werkzeuge die Stopfbuchsenoberfläche zerkratzen und Rillen in den Stopfbuchsenbauteilen verursachen. Diese Furchen führen in Hochvakuumumgebungen unweigerlich zu Undichtigkeiten und können sehr schwer zu diagnostizieren sein. Die Verwendung von Kunststoffwerkzeugen ist zu bevorzugen, da sie die Integrität der Stopfbuchse bewahren, wenn die Dichtungen bei der routinemäßigen Wartung ausgetauscht werden.

Problembereiche - Einige Dichtungen sind einfach schwierig zu installieren, einschließlich Dichtungen mit kleinem Querschnitt wie ESC-Dichtungen und Endeffektor-Pads. In solchen Situationen hat Greene Tweed Erfahrung in der Entwicklung und Bereitstellung einzigartiger Installationswerkzeuge, um die Möglichkeit von Installationsfehlern vor Ort zu verringern.

Bitte wenden Sie sich an Greene Tweed, um Informationen über die Behandlung von Versiegelungsproblemen zu erhalten.