Chemraz® G57
Halbleiter
Produktdetails
Erhöhung der Betriebszeit und des Verarbeitungsertrags
Benötigen Sie maßgeschneiderte Dichtungen für die Waferverarbeitung, die den Anforderungen aggressiver Trockenplasmasysteme gerecht werden? Die einzigartige Formulierung von Chemraz® G57 bietet eine verbesserte Plasmabeständigkeit und minimiert Verunreinigungen, was zu geringeren Ausfallzeiten und höheren Erträgen bei der Waferverarbeitung sowohl in statischen als auch in dynamischen Anwendungen führt.
Chemraz® G57 ist eine hochtemperaturbeständige FFKM-Mischung mit hervorragender O2-Plasmakompatibilität, die sich durch eine ausgezeichnete chemische Beständigkeit und eine maximale Betriebstemperatur von 300°C (572°F) auszeichnet.
Funktionen und Vorteile
- Ausgezeichnete Plasmabeständigkeit in einer Vielzahl von aggressiven chemischen Umgebungen
- Hohe Betriebstemperaturen bis zu 572°F / 300°C
- Minimale Partikelbildung
- Geringere Härte für einfache Installation
- Geringere Klebeeigenschaften für dynamische Anwendungen
- Erhältlich als O-Ring, kundenspezifische CXs und Platten - ohne Einschränkungen bei der Verfügbarkeit
- Globale Fertigungsmöglichkeiten
Branchen & Anwendungen
Ein Hochleistungselastomer für anspruchsvolle Anwendungen
Chemraz® G57-Produkte sind für eine breite Palette von Anwendungen konzipiert. Ganz gleich, wie anspruchsvoll die Umgebung ist, unser Team arbeitet mit Ihnen zusammen, um die richtige Lösung für die jeweilige Aufgabe zu finden.
Die Anwendungen umfassen:
- Endpunkt-Fenster
- Abdichtungen
- Dy-Plasma-Ätzen
- Ablage
- Ferngesteuerte Plasmareinigung
- Trockenveraschung
- Oxidation
- Diffusion
- Metallisierung
Zuverlässige Leistung
Chemraz® G57 ist eine bewährte, zuverlässige technische Komponentenlösung. Es ist in Form von O-Ringen, kundenspezifischen CXs und Platten erhältlich.
Erhöhte Plasmabeständigkeit
