Halbleiter
Branchen – Halbleiter
Fortschrittliche Lösungen für die Halbleiterfertigung
Innovative Produkte
Widersteht der Abnutzung durch Wafer-Reinigung, -Strukturierung und -Beschichtung. Steigern Sie die Produktivität. Reduzieren Sie Verunreinigungen und Kosten. Unsere Dichtungslösungen bekämpfen die aggressiven Plasmen und Chemikalien in der Wafer-Herstellung.
20+
Jahrelange Erfahrung in der Entwicklung von Lösungen für Halbleiteranwendungen
Greene Tweed ist landesweit das erste Unternehmen, das in Reinräumen produziert. Führende Halbleiterfabriken, Gießereien und OEMs vertrauen auf unsere Lösungen für ihre kritischen Anwendungen.
Wir haben unser Dichtungsdesign und unsere Entwicklung weiterentwickelt, um mit der fortschreitenden Halbleiterindustrie Schritt zu halten. Chemraz®-Dichtungen widerstehen den Plasmen, die bei der modernen Beschichtung und Ätzung von Wafern verwendet werden. ONX® 600 Komponenten aus Verbundwerkstoffen sind beständig gegen die in der Halbleiterfertigung verwendeten Chemikalien. Unser Angebot an Lösungen umfasst Klebe-, Verkapselungs- und Beschichtungsmöglichkeiten für zusätzlichen Schutz.
Fachkundige Anwendungstechnik
Leistung unter Druck
Ätzen
Das Ätzen ist ein aggressiver Prozess, bei dem während der Herstellung Oberflächenschichten von der Wafer-Oberfläche entfernt werden, indem der Wafer mit Ionen beschossen wird. Greene Tweed stellt Produkte für die Trockenätzung im Vakuum her:
- Abdichtungen
- O-Ringe
- E-Dichtungen
- Avalon®-Schilder für BSV-Türen
- Fokusringe
- Mechanische Befestigungen
Verbesserung der Dichtungsintegrität
Ventildichtungen
Wir stellen Ventildichtungslösungen für die Halbleiterfertigung her, die eine Reihe von Vorteilen bieten:
- Verbesserte Dichtungsintegrität, weniger Verschleiß. Unser PTFE schützt die Dichtungen vor Prozesseinwirkung und verlängert ihre Lebensdauer.
- Vereinfachte Installation und weniger Zeitaufwand beim Austausch von O-Ringen. Die BSV-Lösungen (Bonded Slit Valve Door) ermöglichen den Austausch einiger weniger Schrauben zur Vervollständigung der BSV-Türmontage.
Unsere Portfolio-Materialien wie Chemraz® verkleben Dichtungen an Aluminium- oder Edelstahltüren. Dadurch werden die Tür und die Dichtung in einem Stück kombiniert, um die traditionellen Trennfugen zu beseitigen und die Partikelbildung zu begrenzen. Unsere geklebten Ausführungen halten bis zu 10-mal länger als herkömmliche O-Ringe aus Perfluorelastomer.
Drehen Sie die Temperatur hoch
Wafer-Handling
ONX® 600, ein kohlenstofffaserverstärkter Verbundwerkstoff auf Fluorpolymerbasis, ist ein hochfestes, hochreines Material, das starken Säurechemikalien bei hohen Temperaturen standhält.
Wir stellen Komponenten wie Wafer-Handling-Pads (Fangs) für Roboter her, die Wafer während Prozessen wie Dotierung, Ionenimplantation, Ätzen und Dünnschichtbeschichtung transportieren, um Folgendes zu ermöglichen:
- Festkleben an der Roboterklinge vermeiden.
- Verhindern, dass sich der Wafer von der Roboterklinge löst.
- Hochtemperaturbeständigkeit für heiße Wafer bieten.
- Verschleißfestigkeit an der Roboterklinge gewährleisten.
- Das Kleben mit proprietären Oberflächenbeschichtungen auf Pads reduzieren.
Halbleiterproduktion vorantreiben
Elektroplattieren
Greene Tweed ist branchenführend in der Randausschlusstechnologie. Wir stellen unsere Dichtungen her, um die Leistung zu verbessern, die Lebensdauer der Dichtungen zu verlängern und Klebevorgänge zu reduzieren.
Enduro™ LF10 ist eine dünne, konforme Beschichtung auf PTFE-Basis, die Komponenten in Fertigungsanlagen wie Elastomere, Thermoplaste oder Metalle schützt.
Unsere Randschutzprodukte maximieren die Wafer-Oberfläche, um mehr Chips zu verarbeiten. Sie dichten den Rand des Wafers ab und vermeiden dadurch die Beschichtung auf der Rückseite des Wafers.
Halbleiter Ressourcen
Chemraz® Leitfaden zur Kompatibilität von Flüssigkeiten
O-Ring-Analyse und Stopfbuchsberechnung
Chemraz® Elastomer-Auswahlhilfe
WR® / AR®-Rechner
Neue Herausforderungen für SubFab
Branchenerprobte Produkte
Das Premium-Elastomer für anspruchsvolle Anwendungen
Benötigen Sie einen Elastomer-O-Ring oder eine Dichtungslösung, die selbst den extremsten Bedingungen standhält? Wir stellen Ihnen Chemraz® vor, unser leistungsstärkstes Elastomer und das ultimative FFKM-Material. Mit Temperaturwerten von bis zu 315 °C (599 °F), nahezu universeller chemischer Kompatibilität und der umfangreichsten chemischen Beständigkeit aller Elastomerwerkstoffe ist Chemraz® die erste Wahl für die anspruchsvollsten Halbleiteranwendungen.
Vielseitige Dichtungen für anspruchsvolle Halbleiterumgebungen
O-Ringe sind die am häufigsten verwendete Art von Elastomerdichtungen und stellen kostengünstige, flexible Dichtungslösungen für ein breites Spektrum anspruchsvoller Anwendungen dar. Der O-Ring kann entweder als Dichtung selbst oder als antreibendes Element in PTFE-Kappendichtungen verwendet werden. Greene Tweed's Chemraz® FFKM wird in O-Ringen und Dichtungen in Umgebungen mit hohen Temperaturen und/oder aggressiven Chemikalien, wie in der Halbleiterindustrie, eingesetzt.
Eine zuverlässige, erschwingliche OEM-Lösung
ONX® 600 ist ein hochleistungsfähiger, kostengünstiger Verbundwerkstoff, der in präzisionsgefertigten Komponenten für die Halbleiterherstellung verwendet wird. Wenn Sie eine widerstandsfähige Wafer-Reinigungslösung benötigen, die korrosiven Chemikalien bei hohen Temperaturen standhält, ist dies genau das richtige Material für Sie.
Extreme Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit
Wenn Sie auf der Suche nach Komponenten für die Wafer-Handling und -Reinigung sind, die für den Einsatz bei hohen Temperaturen und in korrosiven Umgebungen geeignet sind, arbeitet Greene Tweed mit Ihnen zusammen, um das richtige Material sowie die richtige Lösung für diese Aufgabe zu finden.
Diese Verbundwerkstoff-/Thermoplastkomponenten werden in der Regel als Ersatz für metallische Einzelwafer und Nassreinigungs-/Etchbearbeitungsteile verwendet.
