Halbleiter

Ätzen

Wenn Reinheit ein Muss ist, bietet Greene Tweed eine Reihe von Lösungen für die Trockenätzung im Vakuum an:

• Abdichtungen
• O-Ringe
• E-Dichtungen
• Avalon®-Schilder für BSV-Türen
• Fokusringe
• Mechanische Befestigungen

Ventildichtungen

Der ständige Austausch verschlissener Komponenten ist teuer und führt zu unnötigen Ausfallzeiten. Die kundenspezifischen Ventildichtungslösungen von Greene Tweed für die Halbleiterfertigung reduzieren die MTBR (Mean Time Between Repair)

• Verbessern Sie die Dichtungsintegrität und reduzieren Sie den Verschleiß mit PTFE-Schilden
• Vereinfachen Sie die Installation und vermeiden Sie den zeitaufwändigen Austausch von O-Ringen mit BSV-Lösungen (Bonded Slit Valve Door), die den Austausch einiger weniger Schrauben zur vollständigen Montage der BSV-Tür ermöglichen.

Das umfangreiche Materialportfolio von Greene Tweed umfasst Chemraz® Bond-Dichtungen für Türen aus Aluminium oder Edelstahl. Diese vereinfachte Konstruktion vereint Tür und Dichtung in einem Stück und hält bis zu 10-mal länger als typische Perfluorelastomer-O-Ringe.

Wafer-Handling

Wafer-Handling-Anwendungen sind hohen Temperaturen und starken Säuren ausgesetzt. ONX® 600 von Greene Tweed, ein kohlefaserverstärkter Verbundwerkstoff auf Fluorpolymerbasis, ist ein hochfestes, hochreines Material, das für diese rauen Bedingungen ausgelegt ist.

Unsere Experten entwickeln Komponenten wie Wafer-Handling-Pads (Fangs) für Roboter, die Wafer während Prozessen wie Dotierung, Ionenimplantation, Ätzen und Dünnschichtabscheidung transportieren:

• Festkleben an der Roboterklinge vermeiden.
• Verhindern, dass sich der Wafer von der Roboterklinge löst.
• Hochtemperaturbeständigkeit für heiße Wafer bieten.
• Verschleißfestigkeit an der Roboterklinge gewährleisten.
• Das Kleben mit proprietären Oberflächenbeschichtungen auf Pads reduzieren.

Elektroplattieren

Verbessern Sie die Leistung, verlängern Sie die Lebensdauer von Dichtungen und reduzieren Sie das Verkleben mit Dichtungslösungen von Greene Tweed.

Enduro™ LF10 ist eine dünne, konforme Beschichtung auf PTFE-Basis, die Komponenten in Fertigungsanlagen wie Elastomere, Thermoplaste oder Metalle schützt. 

Durch die Maximierung der Wafer-Oberfläche können Sie mit Greene Tweed Kantenschutzprodukten mehr Chips verarbeiten.

Wenn es absolut nicht schiefgehen darf, wählen Sie das Premium-Elastomer

Benötigen Sie einen Elastomer-O-Ring oder eine Dichtungslösung, die selbst den extremsten Bedingungen standhält? Chemraz® ist das leistungsstärkste Elastomer von Greene Tweed und das ultimative FFKM-Material. Mit Temperaturwerten von bis zu 315°C (599°F), nahezu universeller chemischer Kompatibilität und der breitesten chemischen Beständigkeit aller Elastomerwerkstoffe ist Chemraz® die erste Wahl für die anspruchsvollsten Halbleiteranwendungen.

Dichtungen für anspruchsvolle Halbleiterumgebungen

In Umgebungen mit hohen Temperaturen und aggressiven Chemikalien können O-Ringe von Greene Tweed entweder als Dichtung selbst oder als Antriebselement in PTFE-Kappendichtungen verwendet werden. Chemraz® FFKM O-Ringe haben sich in Halbleiteranwendungen bewährt.

Zuverlässige, erschwingliche Leistung

ONX® 600 ist ein hochleistungsfähiger, kostengünstiger Verbundwerkstoff für präzisionsgefertigte Komponenten in der Halbleiterfertigung, der extremen Temperaturen und korrosiven Chemikalien standhält.

Extreme Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit

Das Portfolio von Greene Tweed bietet eine Reihe von Materialien, die für die Handhabung und Reinigung von Wafern in flüchtigen Umgebungen entwickelt wurden.

Unsere Experten arbeiten mit Ihnen zusammen, um Komponenten aus Verbundwerkstoffen oder Thermoplasten zu entwickeln, die im Vergleich zu standardmäßigen metallischen Einzelwafer- und Nassreinigungs-/Etch-Verarbeitungsteilen eine überragende Leistung und Zuverlässigkeit bieten.