半導体用金属バネシールをお勧めする理由
回転運動、摩擦抵抗の制限、シール面のばらつき、動的なシールなど、シールの課題はどのように解決するのでしょうか？意外なことに、金属バネを利用したシールがこの問題を解決することができるのです。
メタルスプリングエナジャイズド（MSE）シールは、化学的に不活性な材料を使用し、アバロンPTFEシーリングジャケットに耐食性金属スプリングを通電し、シーリング力を調整・設計するものであります。MSEシールは、低コスト、超高圧、広い使用温度範囲、耐薬品性設計により、航空宇宙、エネルギー、ライフサイエンスの分野で広く採用されています。
半導体市場向けには、耐薬品性を生かし、新しいスプリング設計と組み合わせることで、ウェットケミカル用途の低差圧シールを実現します。MSEは、最適な静水圧成形のストック形状から機械加工されるので、金型は必要ありません。
グリーンツィードのベテラン営業部長は、湿式プロセス装置の問題に取り組む研究開発エンジニアからこのシールの課題に直面し、当社のMSE能力をフルに活用することにしたのです。そして、当社のアプリケーション・エンジニアリング・チームが、要求される外囲器に適した「ジャケット」設計を行い、化学的に不活性な適切な「クリーン」アバロン材を適用しました。トルク要件とシールのたわみ範囲は、たわみの関数として予測可能な摩擦抵抗を可能にするスプリング設計戦略によって満たされました。MSEの設計の自由度と汎用性は、このアプリケーションの課題を満たすためにユニークなものです。
現在、当社は評価用部品を提供し、お客様によるテストが進行中です。最初の結果は有望です。 GTの製品設計とシミュレーション能力が役立つと思われるシールの課題をお持ちの方は、ぜひご連絡ください。MSE設計の詳細については、お近くのGT販売代理店にお問い合わせください。
