半導体

エッチング

エッチングは、製造中のウェーハ表面にイオンを照射して表面層を除去する積極的なプロセスです。グリーンツィードは、ドライエッチングの真空環境に対応した製品を製造しています。

• シール
• Oリング
• Eシール
• BSVドア用アバロン®シールド
• フォーカスリング
• メカニカルファスナー

バルブシール

私たちは、さまざまなメリットをもたらす半導体製造用バルブシールソリューションを製造しています。

• シールの完全性を高め、磨耗を低減します。当社のPTFEは、シールへのプロセス暴露から保護し、その寿命を延ばします。
• 取り付けを簡素化し、時間のかかるOリングの交換を回避。ボンドスリットバルブドア（BSV）ソリューションでは、数本のボルトを交換するだけで、BSVドアアセンブリを完成させることができます。

Chemraz®などの当社の材料は、アルミやステンレスのドアにシールを接着します。これにより、ドアとシールが一体化され、従来のモールドパーティングラインがなくなり、パーティクルの発生を抑えることができます。当社の接着設計は、一般的なパーフロロエラストマーOリングの最大10倍の長寿命化を実現しています。

ウェハーハンドリング

フッ素樹脂ベースの炭素繊維強化複合材料であるONX® 600は、高温での強酸化反応に耐える高強度・高純度材料です。

ドーピング、イオン注入、エッチング、薄膜形成などの工程でウェーハを搬送するロボット用のウェーハ搬送パッド（ファング）などの部品を製造しています。

• ロボットのブレードに付着しないようにする。
• ロボットブレードからのウェハーの飛散を防止します。
• 高温のウェハーに耐える高温耐久性を持たせる。
• ロボットブレードに耐摩耗性を付与する。
• パッドに独自の表面加工を施すことで、粘着性を低減しています。

電気メッキ

グリーンツイードは、エッジ排除技術において業界をリードしています。当社では、性能の向上、シール寿命の延長、固着の低減を目的としたシールを製造しています。

エンデューロ™ LF10は、エラストマー、熱可塑性樹脂、金属などの製造装置の部品を強化するPTFEベースの薄型コンフォーマルコーティングです。 

当社のエッジエクスクルージョン製品は、ウェーハの表面を最大限に活用し、より多くのチップを処理することができます。ウェーハのエッジをシールし、ウェーハ裏面のメッキを排除します。

要求の厳しいアプリケーションのためのプレミアムエラストマー

最も過酷な条件にも対応できるエラストマーOリングやシーリングソリューションが必要ですか？Chemraz® は、当社で最も高性能なエラストマーであり、究極の FFKM 材料です。Chemraz® は、315°C までの温度定格、ほぼすべての化学物質との適合性、あらゆるエラストマー材料の中で最も幅広い耐薬品性を備えており、最も困難な半導体アプリケーションのための最適な選択肢となります。

半導体の過酷な環境に対応する多用途シール

最も一般的なエラストマーシールであるOリングは、要求の厳しい様々な用途において、費用対効果が高く、柔軟なシーリングソリューションを提供します。Oリングは、シールそのものとして、またはPTFE製キャップタイプシールの通電エレメントとして使用することができます。グリーンツイードのChemraz® FFKMは、半導体産業のような高温や過酷な化学物質が存在する環境でのOリングやシールに使用されています。

信頼性が高く、手頃な価格のOEMソリューション

ONX® 600 は、半導体製造用の精密加工部品に使用される高性能、低コストな複合材料です。高温の腐食性の化学薬品に耐えることができる弾力性のあるウエハーのクリーニングの解決を必要とすれば、これはあなたのための材料である。

極端な温度と耐腐食性

高温・腐食環境下で機能するように設計されたウェーハハンドリングおよび洗浄部品をお探しなら、グリーンツィードはお客様と協力して、作業に適した材料とソリューションを提供します。

これらの複合・熱可塑性部品は、金属製の枚葉部品やウェットクリーン／エッチング処理部品に置き換えて使用されるのが一般的です。