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半導体

精密半導体製造のための高性能ソリューション

Oリング計算機

ケムラズ半導体

半導体プレイブック

最も過酷な環境に耐えるよう設計されたグリーン・ツイードのソリューションは、比類なき信頼性、ダウンタイムの削減、効率性の向上を、大手半導体工場、ファウンドリー、OEMに提供します。

O-リング解析ツール

35年以上にわたり、半導体業界向けに革新的なソリューションを設計。

高度な素材と設計により、ダウンタイムを削減し、歩留まりを向上させます。

インフォグラフィック
エッチ・ソリューション
蒸着ソリューション
アドバンスド・パッケージング

エッチ・ソリューション

極限プラズマ環境における信頼性

グリーン・ツィード社は、酸素プラズマ、アグレッシブプラズマ、幅広い温度・真空条件に最適化されたシーリングソリューションを提供し、重要なドライ・ウェットエッチング用途において一貫した性能を保証します。当社の設計は、過酷な環境下でもパーティクルの発生を抑え、ウェハーの歩留まりを向上させます。
  • 幅広い腐食性化学物質への耐性を備えたカスタム素材
  • 独自のドライエッチングシーリングソリューションとウェット/クリーン加工コンポーネントソリューション
  • パーティクルの発生を抑え、ウェーハの歩留まりを向上

蒸着ソリューション

さまざまな温度と化学物質に対する耐久性

グリーン・ツィードは、ALDからPECVD、電気メッキなど、さまざまな成膜に対応するシーリングソリューションを提供しています。Oリングからボンデッドスリットバルブ、電気メッキ用最先端エッジ排除シールに至るまで、当社のソリューションは極端な温度や化学薬品への曝露に耐え、卓越した耐久性と性能を発揮します。
  • さまざまな蒸着に対応する幅広い設計と素材
  • 極端な温度や化学物質の下でも耐久性を確保

アドバンスド・パッケージング

新たな包装技術の精度

グリーン・ツィードは、ECDをはじめとする先端パッケージングに使用される多くのプロセス向けのカスタムシーリングソリューションを開発しています。当社の設計は、歩留まりを向上させ、ウェーハレベルパッケージング中のコンタミネーションを低減し、最先端技術の円滑な運用を保証します。
  • 高度な包装プロセス用カスタムシール
  • ウェーハパッケージングにおける歩留まりの向上とコンタミネーションの低減
ケムラズ®エラストマー
オンクス®コンポジット
フュージョン

ケムラズ®エラストマー

過酷な環境でも信頼性の高いシーリング

Chemraz® FFKMエラストマーは卓越した耐薬品性を有し、極端なプラズマや熱条件下でも信頼性の高い性能を発揮します。要求の厳しい用途向けに設計され、比類のない耐久性と長寿命を実現します。
  • 腐食性の強い化学薬品や極端な温度にも耐える
  • 高圧環境におけるシール寿命の延長
  • 優れた性能と信頼性のために設計された

オンクス®コンポジット

精密性能のための高強度材料

ONX® 複合材料は、高度な耐久性と精度で静電チャック部品を強化するように設計されています。重要な用途に最適で、安定した性能と信頼性を提供します。
  • 高荷重と過酷な条件に耐える
  • 最適な効率を実現する軽量設計
  • 優れた操作安定性を実現する長寿命素材

フュージョン

厳しいシーリング課題に対するカスタムソリューション

当社のフュージョン(TM)FKMソリューションは、幅広い材料選択肢により、最も要求の厳しい用途に対応できるよう調整されています。お客様の工場特有のニーズに合わせて設計され、信頼性の高い長期的なソリューションを提供します。
  • 極端な温度や過酷な化学薬品への耐性
  • カスタマイズ可能な設計により、独自のアプリケーションニーズに対応
  • 一貫した信頼性の高いシーリング性能を提供

エッチ・ソリューション

極限プラズマ環境における信頼性

グリーン・ツィード社は、酸素プラズマ、アグレッシブプラズマ、幅広い温度・真空条件に最適化されたシーリングソリューションを提供し、重要なドライ・ウェットエッチング用途において一貫した性能を保証します。当社の設計は、過酷な環境下でもパーティクルの発生を抑え、ウェハーの歩留まりを向上させます。

  • 幅広い腐食性化学物質への耐性を備えたカスタム素材
  • 独自のドライエッチングシーリングソリューションとウェット/クリーン加工コンポーネントソリューション
  • パーティクルの発生を抑え、ウェーハの歩留まりを向上

蒸着ソリューション

さまざまな温度と化学物質に対する耐久性

グリーン・ツィードは、ALDからPECVD、電気メッキなど、さまざまな成膜に対応するシーリングソリューションを提供しています。Oリングからボンデッドスリットバルブ、電気メッキ用最先端エッジ排除シールに至るまで、当社のソリューションは極端な温度や化学薬品への曝露に耐え、卓越した耐久性と性能を発揮します。

  • さまざまな蒸着に対応する幅広い設計と素材
  • 極端な温度や化学物質の下でも耐久性を確保

アドバンスド・パッケージング

新たな包装技術の精度

グリーン・ツィードは、ECDをはじめとする先端パッケージングに使用される多くのプロセス向けのカスタムシーリングソリューションを開発しています。当社の設計は、歩留まりを向上させ、ウェーハレベルパッケージング中のコンタミネーションを低減し、最先端技術の円滑な運用を保証します。

  • 高度な包装プロセス用カスタムシール
  • ウェーハパッケージングにおける歩留まりの向上とコンタミネーションの低減

ケムラズ®エラストマー

過酷な環境でも信頼性の高いシーリング

Chemraz® FFKMエラストマーは卓越した耐薬品性を有し、極端なプラズマや熱条件下でも信頼性の高い性能を発揮します。要求の厳しい用途向けに設計され、比類のない耐久性と長寿命を実現します。

  • 腐食性の強い化学薬品や極端な温度にも耐える
  • 高圧環境におけるシール寿命の延長
  • 優れた性能と信頼性のために設計された
ケムラズについて

オンクス®コンポジット

精密性能のための高強度材料

ONX® 複合材料は、高度な耐久性と精度で静電チャック部品を強化するように設計されています。重要な用途に最適で、安定した性能と信頼性を提供します。

  • 高荷重と過酷な条件に耐える
  • 最適な効率を実現する軽量設計
  • 優れた操作安定性を実現する長寿命素材
ONX® のメリットを発見する

フュージョン

厳しいシーリング課題に対するカスタムソリューション

当社のフュージョン(TM)FKMソリューションは、幅広い材料選択肢により、最も要求の厳しい用途に対応できるよう調整されています。お客様の工場特有のニーズに合わせて設計され、信頼性の高い長期的なソリューションを提供します。

  • 極端な温度や過酷な化学薬品への耐性
  • カスタマイズ可能な設計により、独自のアプリケーションニーズに対応
  • 一貫した信頼性の高いシーリング性能を提供
フュージョン

その他のリソース

半導体プレイブック

シーリングソリューションと材料の総合ガイド


化合物半導体:

シールグリーン・ツイードの説得力


ブログ

半導体封止に関するあらゆる疑問にお答えします


ウェビナー

APC(振り子バルブ)のシールの課題を解決する


ケーススタディ

プラズマアプリケーションにおける静電チャックの保護と寿命延長のためのベストプラクティス

半導体プレイブック シーリングソリューションと材料の包括的ガイド


化合物半導体: シールグリーン・ツイードの説得力のあるケース


ブログ 半導体封止に関するあらゆる疑問にお答えします


ウェビナー APC(振り子バルブ)のシールの課題を解決する


ケーススタディ プラズマアプリケーションにおける静電チャックの保護と寿命延長のベストプラクティス



信頼できるソリューション、信頼できる専門知識

グリーン・ツィード社は、35年以上にわたり、大手半導体工場やOEMと提携し、業界の難問に取り組む革新的なソリューションを提供してきました。先端材料から精密設計に至るまで、当社の製品は性能と 効率を向上させます。

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