フュージョン® F07
半導体
半導体サブファブ用強化エラストマー
製品詳細情報
業界で最も要求の厳しいサブファブ・アプリケーション向け
半導体サブファブオペレーターは、ダウンタイムやメンテナンスにコストがかかることを知っています。だからこそ、Fusion® F07は、サブファブ環境の厳しい要求を満たし、それを上回るように設計されています。この新しいFKMエラストマーは、エッチングやCVDプロセスで一般的な酸素やフッ素ベースの化学薬品に対応します。
フュージョン® F07は、最高180°C（355°F）までの温度で形状や機能を維持し、最低6ヶ月の期待寿命を誇ります。機器の故障が避けられない場合は、グリーンツイードをお選びください。
特徴と利点
- 標準的なFKMよりも、酸素およびフッ素ベースの化学反応において優れたプラズマ性能を発揮する。
- FFKMコンパウンドを必要としない用途では、総所有コストが改善される。
- 期待寿命は最低6ヶ月
- 他の業界標準(KF/ISO)シールとフォームフィット交換可能
- ブルーのアウターリングにより、取り付けや交換時の識別が容易
- Oリングは単品でもアッセンブリーでも入手可能
Fusion® F07がサブファブでどのように機能するかについては、こちらまでお問い合わせください。
業種および用途
SubFabのために作られた高性能FKMエラストマー
フュージョン® F07製品は、幅広い半導体用途に対応するよう設計されています。どのような厳しい環境でも、私たちのチームはお客様と協力し、最適なソリューションをご提案します。
次のような用途に対応します。
- 代表的なサイズを含むISO-KF真空継手：KF16、KF25、KF40、KF50、ISO63、ISO80、ISO100、ISO160、ISO200
- 真空システムにおける加熱ラインと非加熱ライン
信頼できる性能
Fusion® F07は、実績と信頼性のあるエンジニアード・コンポーネント・ソリューションです。個々のOリングとアッセンブリーの形で入手可能です。
純度とプラズマ性能の向上
