フュージョン® F07
半導体
プロダクトの説明
特徴と利点
プロダクトの説明
業界で最も要求の厳しいサブファブ・アプリケーション向け
半導体サブファブオペレーターは、ダウンタイムやメンテナンスにコストがかかることを知っています。だからこそ、Fusion® F07は、サブファブ環境の厳しい要求を満たし、それを上回るように設計されています。この新しいFKMエラストマーは、エッチングやCVDプロセスで一般的な酸素やフッ素ベースの化学薬品に対応します。
フュージョン® F07は、最高180°C（355°F）までの温度で形状や機能を維持し、最低6ヶ月の期待寿命を誇ります。機器の故障が避けられない場合は、グリーンツイードをお選びください。
特徴と利点
- 標準的なFKMよりも、酸素およびフッ素ベースの化学反応において優れたプラズマ性能を発揮する。
- FFKMコンパウンドを必要としない用途では、総所有コストが改善される。
- 期待寿命は最低6ヶ月
- 他の業界標準(KF/ISO)シールとフォームフィット交換可能
- ブルーのアウターリングにより、取り付けや交換時の識別が容易
- Oリングは単品でもアッセンブリーでも入手可能
産業と用途
フュージョン® F07 ソリューション
信頼できる性能
SubFabのために作られた高性能FKMエラストマー
フュージョン® F07 製品は、幅広い半導体用途向けに設計されています。どのような厳しい環境であっても、当社のチームはお客様と協力して、作業に適したソリューションを決定します。
アプリケーションには以下が含まれます：
- 代表的なサイズを含むISO-KF真空継手：KF16、KF25、KF40、KF50、ISO63、ISO80、ISO100、ISO160、ISO200
- 真空システムにおける加熱ラインと非加熱ライン
Fusion® F07は、実績と信頼性のあるエンジニアード・コンポーネント・ソリューションです。個々のOリングとアッセンブリーの形で入手可能です。