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2023년 9월 20일

반도체 씰링에 관한 모든 질문에 대한 답변

by:작성자: 닉 맥닐, 프라가티 베르마, 티야그 사다시완

가장 혹독한 반도체 애플리케이션에서 볼 수 있는 극한의 온도에서 강력한 액체, 가스 및 플라즈마를 견딜 수 있도록 제작된 엘라스토머 오링 또는 씰링 솔루션이 필요하신가요? 다음은 반도체 제조업체가 직면한 주요 씰링 질문에 대한 답변입니다:

반도체 제조 공정에 가장 적합한 씰은 어떤 것일까요?

강력한 화학 물질, 극한 온도 및 플라즈마 환경에 대한 탁월한 내성으로 잘 알려진 퍼플루오로엘라스토머(또는 FFKM) 씰링 재료는 반도체 제조와 같이 까다로운 제조 공정에 이상적입니다. 그린 트위드는 극한의 온도, 화학 물질 및 플라즈마 환경에 대한 탁월한 내성으로 잘 알려진 Chemraz® 씰링 솔루션을 제공합니다.

그린 트위드의 켐라즈® 씰링 솔루션이 차별화되는 점은 무엇입니까?

그린 트위드는 세계에서 가장 혹독한 환경에서도 뛰어난 성능과 오래 지속되도록 설계된 Chemraz® 씰링 솔루션에 자부심을 가지고 있습니다. 160년 동안 반도체 산업을 비롯한 중요 부문에 변명의 여지 없이 탁월한 성능을 발휘하는 소재와 엔지니어링 부품을 공급해 왔습니다.

모든 엘라스토머 소재 중에서 가장 넓은 온도 범위와 탁월한 내화학성을 갖춘 Chemraz®는 가장 까다로운 반도체 응용 분야를 위한 최고의 선택입니다. 당사의 우수한 품질, 정밀 엔지니어링 및 맞춤화는 가동 중단 시간을 줄이고 웨이퍼 처리 수율을 높입니다.

그린 트위드의 켐라즈® 씰링 솔루션이 어떤 반도체 제조 공정에 도움이 될까요?

Chemraz® FFKM 씰링 솔루션은 다음과 같은 광범위한 반도체 장비에 이상적입니다:

  • 도체 식각
  • 유전체 식각
  • PECVD
  • ALD
  • RTP
  • 습식 세정
  • 챔버 씰
  • 슬릿 밸브 및 BSV
  • 펜듈럼 및 게이트 밸브
  • 정전기 척 및 페데스탈 배리어 씰
  • 화학물질 배송

그린 트위드의 씰링 솔루션은 공격적인 세척 및 에칭 화학 물질을 견딜 수 있습니까?

물론입니다! Chemraz®는 내화학성이 뛰어나 반도체 제조에 사용되는 강력한 세척 및 에칭 화학 물질과 호환성이 높습니다. 열악한 플라즈마 환경과 반응성 화학 물질에 노출되어도 안정적으로 유지되므로 최적의 성능과 수명을 보장합니다.

그린 트위드는 특정 반도체 애플리케이션에 맞게 씰을 맞춤 제작할 수 있습니까?

예, 그린 트위드에서는 고객의 특정 요구 사항을 충족할 수 있는 다양한 씰링 솔루션을 제공합니다. 당사의 엔지니어링 팀은 반도체 제조업체와 긴밀히 협력하여 장비 사양에 부합하고 최적화된 성능을 제공하는 맞춤형 씰을 설계합니다.

반도체 애플리케이션에 그린 트위드의 최신 씰링 솔루션을 구현하고 싶습니다. 프로세스를 시작하려면 어떻게 해야 하나요?

반도체 장비에 맞춤화된 FFKM 씰링 솔루션의 이점을 알아보려면 그린 트위드의 전문가 팀에 문의하세요. 당사의 엔지니어가 귀사의 사양에 대해 상담하고 기술 지침을 제공할 준비가 되어 있습니다. 당사는 반도체 제조 공정을 향상시키기 위해 고품질 씰링 솔루션을 반복, 개선 및 제공하기 위해 계속 노력할 것입니다.

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