Benötigen Sie einen Elastomer-O-Ring oder eine Dichtungslösung, die aggressiven Flüssigkeiten, Gasen und Plasma bei extremen Temperaturen standhält, wie sie in den härtesten Halbleiteranwendungen vorkommen? Hier finden Sie Antworten auf die wichtigsten Fragen zu Dichtungen für Halbleiterhersteller:

Welche Art von Dichtungen eignet sich am besten für Halbleiterfertigungsprozesse?

Dichtungsmaterial aus Perfluorelastomer (oder FFKM) ist für seine außergewöhnliche Beständigkeit gegenüber aggressiven Chemikalien, extremen Temperaturen und Plasmaumgebungen bekannt und eignet sich ideal für einen so aggressiven Herstellungsprozess wie die Halbleiterfertigung. Greene Tweed bietet Chemraz®-Dichtungslösungen an, die für ihre außergewöhnliche Beständigkeit gegen extreme Temperaturen, Chemikalien und Plasma-Umgebungen bekannt sind.

Was zeichnet die Chemraz®-Abdichtungslösungen von Greene Tweed aus?

Wir bei Greene Tweed sind stolz auf unsere Chemraz®-Dichtungslösungen, die so konzipiert sind, dass sie auch unter den härtesten Bedingungen der Welt überragende Leistungen erbringen und lange halten. Seit 160 Jahren statten wir kritische Sektoren, einschließlich der Halbleiterindustrie, mit Materialien und technischen Komponenten aus, die funktionieren - ohne Ausreden und ohne Ausnahmen.

Mit dem breitesten Temperaturbereich und der unübertroffenen chemischen Beständigkeit aller Elastomerwerkstoffe ist Chemraz® die erste Wahl für die anspruchsvollsten Halbleiteranwendungen. Unsere überlegene Qualität, Präzisionstechnik und Anpassungsfähigkeit führen zu weniger Ausfallzeiten und höheren Erträgen bei der Waferverarbeitung.

Welche Art von Halbleiterfertigungsprozessen profitieren von den Chemraz®-Dichtungslösungen von Greene Tweed?

Chemraz® FFKM-Dichtungslösungen sind ideal für eine Vielzahl von Halbleiteranlagen wie z.B.:

• Ätzen von Leitern
• Dielektrisches Ätzen
• PECVD
• ALD
• RTP
• Nassreinigungen
• Kammerdichtungen
• Schlitzventil und BSVs
• Pendel- und Schieberventile
• Elektrostatische Spannfutter- und Sockelsperren-Dichtungen
• Chemische Lieferung

Können die Versiegelungslösungen von Greene Tweed aggressiven Reinigungs- und Ätzchemikalien widerstehen?

Auf jeden Fall! Chemraz® weist eine außergewöhnliche chemische Beständigkeit auf und ist daher mit den aggressiven Reinigungs- und Ätzchemikalien, die bei der Halbleiterherstellung verwendet werden, äußerst kompatibel. Es bleibt auch dann stabil, wenn es rauen Plasmaumgebungen und reaktiven Chemikalien ausgesetzt ist, und gewährleistet so optimale Leistung und Langlebigkeit.

Kann Greene Tweed Dichtungen für bestimmte Halbleiteranwendungen maßschneidern?

Ja, bei Greene Tweed bieten wir eine Reihe von Dichtungslösungen an, die auf Ihre spezifischen Anforderungen zugeschnitten werden können. Unser Ingenieurteam arbeitet eng mit Halbleiterherstellern zusammen, um kundenspezifische Dichtungen zu entwickeln, die den Gerätespezifikationen entsprechen und eine optimale Leistung bieten.

Ich möchte die neuesten Dichtungslösungen von Greene Tweed in meiner Halbleiteranwendung einsetzen. Wie kann ich den Prozess starten?

Wenden Sie sich an unser Expertenteam bei Greene Tweed, um die Vorteile von FFKM-Dichtungslösungen zu erkunden, die auf Ihre Halbleiterausrüstung zugeschnitten sind. Unsere Ingenieure sind bereit, Ihre Spezifikationen zu besprechen und Sie technisch zu beraten. Wir arbeiten kontinuierlich daran, hochwertige Dichtungslösungen zu entwickeln, zu verbessern und zu liefern, um Ihren Halbleiterherstellungsprozess zu verbessern.