半導体の過酷な用途に見られる極端な温度下でのアグレッシブな液体、ガス、プラズマに耐えるエラストマーOリングやシーリングソリューションが必要ですか？ここでは、半導体メーカーが直面する重要なシーリングの疑問にお答えします：

半導体製造工程に最適なシールは？

パーフロロエラストマー(FFKM)シーリング材は、過酷な化学薬品、極端な温度、プラズマ環境に対する卓越した耐性で知られており、半導体製造のような過酷な製造工程に最適です。グリーン・ツィード社は、極端な温度、化学薬品、プラズマ環境に対する卓越した耐性で知られるケムラズ® シール材を提供しています。

グリーンツイードのChemraz® シーリングソリューションの特徴は？

グリーンツィードでは、世界で最も過酷な環境下でも優れた性能を発揮し、長持ちするよう設計されたChemraz® シーリングソリューションに誇りを持っています。当社は160年にわたり、半導体産業をはじめとする重要な分野に、言い訳や例外のない性能を発揮する材料や設計部品を提供してきました。

Chemraz®は、あらゆるエラストマー材料の中で最も広範な温度範囲と比類のない耐薬品性を有し、最も困難な半導体用途に最適です。Chemraz®の優れた品質、精密なエンジニアリング、カスタマイズ性により、ダウンタイムが短縮され、ウェハー処理の歩留まりが向上します。

グリーン・ツイード社のChemraz® シーリング・ソリュー ションは、どのような半導体製造プロセスに役立ち ますか？

Chemraz® FFKMシーリングソリューションは、以下のような幅広い半導体装置に最適です：

• 半導体エッチング
• 誘電体エッチング
• PECVD
• ALD
• RTP
• ウェット洗浄
• チャンバーシール
• スリットバルブとBSV
• 振り子およびゲートバルブ
• 静電チャックとペデスタルバリアシール
• 化学提供

グリーン・ツィードのシーリング・ソリューションは、強力な洗浄剤やエッチング剤に耐えることができますか？

その通りです！Chemraz®は卓越した耐薬品性を示し、半導体製造に使用されるアグレッシブな洗浄やエッチング化学薬品に高い適合性を示します。過酷なプラズマ環境や反応性化学薬品にさらされても安定したままであり、最適な性能と寿命を保証します。

グリーン・ツィード社では、特定の半導体用途に合わせたシールのカスタマイズが可能ですか？

グリーン・ツィードでは、お客様のご要望に合わせた幅広いシーリングソリューションを提供しています。当社のエンジニアリングチームは、半導体メーカーと緊密に連携し、装置の仕様に適合し、最適な性能を発揮するカスタムシールを設計しています。

グリーン・ツィードの最新シーリング・ソリューションを、私の半導 体アプリケーションに導入したいのですが。どうすればよいですか？

お客様の半導体装置に合わせたFFKMシーリングソリューションの利点を探るには、グリーンツイードの専門家チームにご相談ください。当社のエンジニアがお客様の仕様についてお伺いし、技術的なガイダンスを提供いたします。私たちは、お客様の半導体製造プロセスを向上させる高品質のシーリング・ソリューションを提供するため、日々努力を重ねています。