您是否需要一种弹性 O 形圈或密封解决方案，以在最严酷的半导体应用中承受极端温度下的侵蚀性液体、气体和等离子体？以下是半导体制造商面临的关键密封问题的答案：

什么样的密封件最适合半导体制造工艺？

全氟弹性体（或 FFKM）密封材料以其对腐蚀性化学品、极端温度和等离子环境的超强耐受性而著称，非常适合像半导体制造这样具有腐蚀性的制造工艺。Greene Tweed 提供的 Chemraz® 密封解决方案以其优异的耐极端温度、化学品和等离子环境性能而著称。

格林特威德的 Chemraz® 密封解决方案有何与众不同之处？

格林特威德引以为豪的 Chemraz® 密封解决方案可在全球最恶劣的环境中发挥卓越性能，经久耐用。160 年来，我们为包括半导体行业在内的关键行业提供性能卓越的材料和工程组件，没有任何借口，没有任何例外。

在所有弹性材料中，Chemraz® 具有最广泛的温度范围和无与伦比的耐化学性，是最具挑战性的半导体应用的首选。我们卓越的质量、精密的工程设计和可定制性减少了停机时间，提高了晶圆加工产量。

格林特威德的 Chemraz® 密封解决方案能使哪些半导体制造工艺受益？

Chemraz® FFKM密封解决方案是各种半导体设备的理想选择，例如

• 导体蚀刻
• 电介质蚀刻
• PECVD
• ALD
• RTP
• 湿法清洗
• 腔室密封件
• 狭缝阀和 BSV
• 钟摆阀和闸阀
• 静电卡盘和基座阻隔密封件
• 化学品输送

格林特威德的密封解决方案能否承受腐蚀性清洗和蚀刻化学试剂？

绝对！Chemraz® 具有优异的耐化学性，因此与半导体制造中使用的腐蚀性清洗和蚀刻化学物质高度兼容。即使暴露在恶劣的等离子环境和活性化学物质中，它也能保持稳定，确保最佳性能和使用寿命。

格林特威德能否定制密封件以适应特定的半导体应用？

是的，在格林特威德，我们提供一系列密封解决方案，可根据您的具体要求量身定制。我们的工程团队与半导体制造商密切合作，设计符合设备规格的定制密封件，并提供优化的性能。

我想在我的半导体应用中采用格林推最新的密封解决方案。如何开始？

要了解为您的半导体设备量身定制的 FFKM 密封解决方案的优势，请联系我们格林特威德的专家团队。我们的工程师随时准备讨论您的规格并提供技术指导。我们将不断改进、完善和提供高质量的密封解决方案，以提升您的半导体制造工艺。