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20 septembre 2023

Toutes les réponses à vos questions sur l'étanchéité des semi-conducteurs

par :Nick McNeal, Pragati Verma, Thyag Sadasiwan

Avez-vous besoin d'un joint torique en élastomère ou d'une solution d'étanchéité conçue pour résister aux liquides agressifs, aux gaz et au plasma à des températures extrêmes que l'on trouve dans les applications de semi-conducteurs les plus difficiles ? Voici les réponses aux principales questions que se posent les fabricants de semi-conducteurs en matière d'étanchéité :

Quels types de joints conviennent le mieux aux processus de fabrication des semi-conducteurs ?

Le matériau d'étanchéité en élastomère perfluoré (ou FFKM), connu pour sa résistance exceptionnelle aux produits chimiques agressifs, aux températures extrêmes et aux environnements plasma, est idéal pour un processus de fabrication aussi agressif que la fabrication de semi-conducteurs. Greene Tweed propose des solutions d'étanchéité Chemraz®, connues pour leur résistance exceptionnelle aux températures extrêmes, aux produits chimiques et aux environnements plasma.

Qu'est-ce qui distingue les solutions d'étanchéité Chemraz® de Greene Tweed ?

Chez Greene Tweed, nous sommes fiers de nos solutions d'étanchéité Chemraz® qui sont conçues pour surpasser les performances et durer dans les environnements les plus difficiles du monde. Depuis 160 ans, nous équipons des secteurs critiques, y compris l'industrie des semi-conducteurs, avec des matériaux et des composants techniques performants - sans excuses, sans exceptions.

Avec la plus large gamme de températures et une résistance chimique inégalée parmi tous les matériaux élastomères, Chemraz® est le premier choix pour les applications semi-conductrices les plus exigeantes. Notre qualité supérieure, notre ingénierie de précision et nos possibilités de personnalisation permettent de réduire les temps d'arrêt et d'augmenter les rendements de traitement des plaquettes.

Quels types de procédés de fabrication de semi-conducteurs bénéficient des solutions d'étanchéité Chemraz® de Greene Tweed ?

Les solutions d'étanchéité Chemraz® FFKM sont idéales pour une large gamme d'équipements semi-conducteurs tels que

  • Gravure conductrice
  • Gravure diélectrique
  • PECVD
  • ALD
  • RTP
  • Nettoyage humide
  • Joints de chambre
  • Soupapes à fente et BSV
  • Vannes pendulaires et à guillotine
  • Joints de barrière électrostatique pour mandrins et piédestaux
  • Acheminement de produits chimiques

Les solutions de scellement de Greene Tweed peuvent-elles résister à des produits chimiques de nettoyage et de gravure agressifs ?

Absolument ! Chemraz® présente une résistance chimique exceptionnelle, ce qui le rend hautement compatible avec les produits chimiques de nettoyage et de gravure agressifs utilisés dans la fabrication des semi-conducteurs. Il reste stable même lorsqu'il est exposé à des environnements plasmatiques difficiles et à des produits chimiques réactifs, ce qui garantit des performances et une longévité optimales.

Greene Tweed peut-il personnaliser les joints pour les adapter à des applications semi-conductrices spécifiques ?

Oui, chez Greene Tweed, nous proposons une gamme de solutions d'étanchéité qui peuvent être adaptées à vos besoins spécifiques. Notre équipe d'ingénieurs travaille en étroite collaboration avec les fabricants de semi-conducteurs afin de concevoir des joints d'étanchéité personnalisés qui répondent aux spécifications de l'équipement et offrent des performances optimales.

Je souhaite mettre en œuvre les dernières solutions de scellement de Greene Tweed dans mon application semi-conducteur. Comment puis-je entamer le processus ?

Pour explorer les avantages des solutions d'étanchéité FFKM adaptées à votre équipement semi-conducteur, contactez notre équipe d'experts chez Greene Tweed. Nos ingénieurs sont prêts à discuter de vos spécifications et à vous fournir des conseils techniques. Nous continuerons à travailler pour itérer, améliorer et fournir des solutions d'étanchéité de haute qualité afin d'améliorer votre processus de fabrication de semi-conducteurs.

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