サブファブ真空システムにおける標準FKMシールの長寿命化

ペンシルベニア州ランズデール- 高性能シーリングソリューションおよび設計部品の世界的大手メーカーであるグリーンツィード社は、性能強化型フッ素ゴムであるFusion® F07を発表しました。グリーンツイードの材料科学者とアプリケーションエンジニアが開発したFusion® F07は、半導体加工サブファブラインの一般的なエッチングガスやCVD酸素/フッ素系ガスに耐えるよう特別に設計されており、最高温度は180°C（355°F）です。

Fusion® F07は、サブファブ・バキューム・システム・ラインの標準FKMよりも長持ちします。その結果、この新しい性能強化FKMは、計画的なメンテナンスの間隔を延長します。特に、FFKMコンパウンドを必要としない用途では、総所有コストが改善されます。

「グリーン・ツィード社では、お客様が世界で最も過酷な環境下で効率的かつ安全に操業できるようサポートしています。私たちは、半導体産業が信頼性と長寿命を必要としていることを理解しています。フュージョン® F07は、システムの長寿命化だけでなく、運用効率の向上を目指した綿密な研究開発の成果です。

Fusion® F07は、シールアッセンブリーまたはOリング単体としてご購入いただけます。Fusion® F07は、他の業界標準（KF/ISOフランジ継手）シールとフォームフィット交換が可能なため、お客様は簡単にアップグレードすることができ、寿命延長とそれに伴うランニングコスト削減のメリットを実感していただけます。青い外輪は、取り付けや交換時の識別を容易にします。Fusion® F07シールは、KF16, KF25, KF40, KF50, ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200など、一般的なサイズに対応しています。

グリーン・ツィード社は、40年以上にわたり半導体業界にシーリング・ソリューショ ンを提供するリーディング・グローバル・プロバイダーとして、エッチ、蒸着、水系、電 気化学（電気メッキ）など、世界の半導体製造工場の主要工程で使用される幅広い ミッションクリティカルな機器に使用される先進的なエラストマーシールや熱可塑性樹脂部品を 設計しています。同社は現在、韓国への投資を進めており、最新鋭の製造施設は今年中に生産を開始する予定です。「グリーン・ツィード社は、グローバルな顧客の需要に応えるために投資を行ってきた歴史があり、韓国での事業拡大は、この地域における半導体産業の継続的な成長をサポートする機会を提供します。この数百万ドル規模の投資は、当社の世界的な製造能力の大幅な向上を意味すると同時に、サプライチェーンの弾力性を高めるものです。