在晶圓廠真空系統中，其使用壽命超越標準氟氯烷基橡膠（FKM）密封件

賓夕法尼亞州蘭斯代爾– 格瑞特維，作為全球領先的高性能密封解決方案與工程元件製造商，宣布推出性能提升的氟橡膠材料Fusion® F07。此產品格瑞特維 科學家與應用工程師共同研發，專為抵禦半導體製程副廠線中常見的蝕刻及 CVD 氧/氟基氣體而設計，可在高達 355°F（180°C）的溫度下穩定運作。

Fusion® F07 的預期使用壽命至少達六個月，在晶圓廠真空系統管線中的表現優於標準氟碳橡膠（FKM）。這款性能強化型氟碳橡膠可延長計劃性維護間隔時間，尤其在無需使用全氟碳橡膠（FFKM）化合物的應用場景中，更能提供更優異的總體擁有成本效益。

「格瑞特維我們致力於協助客戶在世界上最嚴苛的環境中高效且安全地運作。我們深知半導體產業對可靠性和耐用性的需求。Fusion® F07 是經過縝密研發的成果，不僅旨在延長系統壽命，更能提升營運效率，」格瑞特維總裁暨執行長媄根-布特鲍 ) 表示。

Fusion® F07 可作為密封組件或單獨的 O 型環購買。客戶可輕鬆升級至 Fusion® F07，體驗延長使用壽命及隨之降低的營運成本——因其密封件可與其他業界標準（KF/ISO 法蘭接頭）密封件進行形狀配合替換。 藍色外環設計便於安裝與更換時辨識。Fusion® F07 密封件提供多數標準尺寸，包含 KF16、KF25、KF40、KF50、ISO63、ISO80、ISO100、ISO160 及 ISO200。

作為半導體產業密封解決方案的全球領先供應商格瑞特維 擁有逾四十年的經驗，格瑞特維 先進彈性體密封件與熱塑性組件，廣泛應用於全球半導體晶圓廠關鍵製程領域的各類關鍵設備中，包括蝕刻、沉積、水洗及電化學（電鍍）製程。 該公司現正於韓國進行投資，其即將落成的尖端製造廠預計將於今年投產。 「格瑞特維 投資以滿足全球客戶的需求，而此次在韓國的擴張，為本公司提供了支持該地區半導體產業持續成長的契機。這筆數百萬美元的投資不僅將大幅提升公司的全球製造產能，同時也能增強供應鏈的韌性，」媄根-布特鲍 ) 表示。