在晶圓廠真空系統中，其使用壽命超越標準氟氯烷基橡膠（FKM）密封件

賓州蘭斯代爾訊——全球領先的高性能密封解決方案與工程元件製造商格林特威德（Greene Tweed）宣布推出性能強化型氟橡膠Fusion® F07。 由格林特威德材料科學家與應用工程師共同研發的Fusion® F07，專為耐受半導體加工次級廠線中常見的蝕刻及化學氣相沉積（CVD）氧/氟基氣體而設計，可在高達355°F（180°C）的溫度環境下穩定運作。

Fusion® F07 的預期使用壽命至少達六個月，在晶圓廠真空系統管線中的表現優於標準氟碳橡膠（FKM）。這款性能強化型氟碳橡膠可延長計劃性維護間隔時間，尤其在無需使用全氟碳橡膠（FFKM）化合物的應用場景中，更能提供更優異的總體擁有成本效益。

在格林特威德，我們協助客戶於全球最嚴苛的環境中高效安全地運作。我們深知半導體產業需要可靠性與長效性。Fusion® F07是經過縝密研發的成果，不僅能延長系統壽命，更能提升營運效率。」媄根-布特鲍 總裁暨執行媄根-布特鲍 表示。

Fusion® F07 可作為密封組件或單獨的 O 型環購買。客戶可輕鬆升級至 Fusion® F07，體驗延長使用壽命及隨之降低的營運成本——因其密封件可與其他業界標準（KF/ISO 法蘭接頭）密封件進行形狀配合替換。 藍色外環設計便於安裝與更換時辨識。Fusion® F07 密封件提供多數標準尺寸，包含 KF16、KF25、KF40、KF50、ISO63、ISO80、ISO100、ISO160 及 ISO200。

作為全球半導體產業密封解決方案的領導供應商逾四十載，格林特威德公司專注研發先進彈性體密封件與熱塑性元件，其產品廣泛應用於全球半導體晶圓廠關鍵製程區域的任務關鍵設備，涵蓋蝕刻、沉積、水溶液處理及電化學（電鍍）等領域。 該公司現正進軍韓國市場，其尖端製造廠房預計將於今年投產。 「格林特威德始終以投資滿足全球客戶需求為宗旨，此次韓國擴張將助力企業持續支持該地區半導體產業發展。這項數百萬美元的投資不僅大幅提升公司全球產能，更強化了供應鏈韌性。」媄根-布特鲍 表示。