在 Subfab 真空系统中的使用寿命超过标准 FKM 密封件

宾夕法尼亚州兰斯代尔- 全球领先的高性能密封解决方案和工程元件制造商格林特维德公司宣布推出Fusion® F07，这是一种性能增强型氟橡胶。Fusion® F07 由格林特维的材料科学家和应用工程师开发，专门用于承受半导体加工 subfab 生产线中常见的蚀刻和 CVD 氧/氟气体，最高温度可达 355°F (180°C)。

Fusion® F07 的预期使用寿命至少为 6 个月，在底板真空系统管路中比标准 FKM 的使用寿命更长。因此，这种新型性能增强型 FKM 延长了计划维护活动之间的间隔时间。值得一提的是，在不需要使用 FFKM 化合物的应用中，它还能提供更好的总体拥有成本。

"在格林特威德，我们帮助客户在全球最严苛的环境中高效、安全地运行。我们了解半导体行业对可靠性和使用寿命的需求。Fusion® F07 是精心研发的成果，其目的不仅在于延长系统的使用寿命，还在于提高运行效率。

Fusion® F07 可作为密封组件或单个 O 形圈购买。客户可以毫不费力地升级到 Fusion® F07，并体验到延长使用寿命和降低运营成本的好处，因为这种密封件可与其他行业标准（KF/ISO 法兰配件）密封件配合更换。蓝色外圈便于安装和更换时识别。Fusion® F07 密封件可用于大多数典型尺寸，包括 KF16、KF25、KF40、KF50、ISO63、ISO80、ISO100、ISO160 和 ISO200。

Greene Tweed 是全球领先的半导体行业密封解决方案供应商，四十多年来一直致力于设计先进的弹性体密封件和热塑性部件，这些密封件和部件广泛应用于全球半导体工厂关键工艺领域的各种关键设备中，包括蚀刻、沉积、水性和电化学（电镀）设备。该公司目前正在韩国投资，其即将建成的最先进的生产设施预计将于今年投产。"格林特威德公司一直致力于投资以满足全球客户的需求，韩国的扩张为公司提供了一个支持该地区半导体行业持续增长的机会。Magen Buterbaugh 说："这项数百万美元的投资代表着公司全球生产能力的显著提高，同时实现了供应链的弹性。