在 Subfab 真空系统中的使用寿命超过标准 FKM 密封件

宾夕法尼亚州兰斯代尔—— 格瑞特維，作为全球领先的高性能密封解决方案及工程部件制造商，宣布推出性能增强型氟橡胶Fusion® F07。该产品由格瑞特維 科学家和应用工程师共同研发，专为抵御半导体加工子厂线中常见的蚀刻及CVD氧/氟基气体而设计，可在高达355°F（180°C）的温度下稳定工作。

Fusion® F07 的预期使用寿命至少为 6 个月，在底板真空系统管路中比标准 FKM 的使用寿命更长。因此，这种新型性能增强型 FKM 延长了计划维护活动之间的间隔时间。值得一提的是，在不需要使用 FFKM 化合物的应用中，它还能提供更好的总体拥有成本。

“在格瑞特維，我们致力于帮助客户在世界上最严苛的环境中高效、安全地开展运营。我们深知半导体行业对可靠性和耐用性的需求。Fusion® F07 是经过精心研发的成果，不仅旨在延长系统使用寿命，更能提升运营效率格瑞特維总裁兼首席执行官媄根-布特鲍 （媄根-布特鲍 ）表示。

Fusion® F07 可作为密封组件或单个 O 形圈购买。客户可以毫不费力地升级到 Fusion® F07，并体验到延长使用寿命和降低运营成本的好处，因为这种密封件可与其他行业标准（KF/ISO 法兰配件）密封件配合更换。蓝色外圈便于安装和更换时识别。Fusion® F07 密封件可用于大多数典型尺寸，包括 KF16、KF25、KF40、KF50、ISO63、ISO80、ISO100、ISO160 和 ISO200。

作为为半导体行业提供密封解决方案的全球领先供应商格瑞特維 拥有四十余年的行业经验，格瑞特維 先进弹性体密封件和热塑性组件广泛应用于全球半导体工厂关键工艺领域的各类关键设备中，包括刻蚀、沉积、水处理及电化学（电镀）等环节。 该公司目前正在韩国进行投资，其即将投产的尖端制造工厂预计将于今年开始生产。格瑞特維 投资以满足全球客户的需求，此次在韩国的扩张为公司提供了支持该地区半导体产业持续增长的机会。这项数百万美元的投资不仅将显著提升公司的全球制造产能，还能增强供应链的韧性，”媄根-布特鲍 ) 表示。