Fusion® F07

업계에서 가장 까다로운 서브팹 애플리케이션용

반도체 서브팹 운영자는 다운타임과 유지보수에 많은 비용이 든다는 것을 알고 있기 때문에 Fusion® F07은 서브팹 환경의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.

현재 진공 시스템 라인용 개별 O-링 또는 어셈블리로 제공되는 이 새로운 FKM 엘라스토머는 에칭 및 CVD 공정에서 흔히 사용되는 산소 및 불소 기반 화학 물질을 처리할 수 있도록 제작되었습니다. Fusion® F07은 최대 355°F(180°C)의 연속 사용 온도와 극한 조건에서 6개월의 예상 수명, 428°F(220°C)의 예외적 사용 온도를 자랑합니다. 장비 고장이 불가피한 경우 그린 트위드를 선택하세요.