Fusion® F07
Para las aplicaciones SubFab más exigentes del sector
Los operarios de SubFab de semiconductores saben que el tiempo de inactividad y el mantenimiento son costosos, por eso Fusion® F07 está diseñado para satisfacer y superar las agresivas exigencias de los entornos de SubFab.
Este nuevo elastómero de FKM, disponible actualmente como juntas tóricas individuales o conjuntos para líneas de sistemas de vacío, está diseñado para soportar los productos químicos basados en oxígeno y flúor habituales en los procesos de grabado y CVD. Fusion® F07 ofrece una temperatura de servicio continuo de hasta 180°C (355°F) con una vida útil prevista de 6 meses en condiciones extremas y una temperatura de servicio de excursión de 220°C (428°F). Cuando el fallo del equipo no es una opción, elija Greene Tweed.