Fusion® F07

Para las aplicaciones SubFab más exigentes del sector

Los operarios de SubFab de semiconductores saben que el tiempo de inactividad y el mantenimiento son costosos, por eso Fusion® F07 está diseñado para satisfacer y superar las agresivas exigencias de los entornos de SubFab.

Este nuevo elastómero de FKM, disponible actualmente como juntas tóricas individuales o conjuntos para líneas de sistemas de vacío, está diseñado para soportar los productos químicos basados en oxígeno y flúor habituales en los procesos de grabado y CVD. Fusion® F07 conserva su forma y función a temperaturas de hasta 180°C (355°F) y tiene una vida útil mínima prevista de seis meses en condiciones extremas. Cuando el fallo del equipo no es una opción, elija Greene Tweed.