フュージョン® F07

業界で最も要求の厳しいサブファブアプリケーション向け

半導体サブファブオペレーターは、ダウンタイムやメンテナンスにコストがかかることを知っています。だからこそ、Fusion® F07は、サブファブ環境での厳しい要求を満たし、それを上回るように設計されています。

この新しいFKMエラストマーは、エッチングやCVDプロセスで一般的な酸素やフッ素ベースの化学薬品に対応するよう設計されています。Fusion® F07は、最高180°C（355°F）までの温度でその形状と機能を維持し、過酷な条件下でも最低6ヶ月の期待寿命を誇ります。装置の故障が避けられない場合は、グリーンツイードをお選びください。