フュージョン® F07
業界で最も要求の厳しいサブファブアプリケーション向け
半導体サブファブオペレーターは、ダウンタイムやメンテナンスにコストがかかることを知っています。だからこそ、Fusion® F07は、サブファブ環境での厳しい要求を満たし、それを上回るように設計されています。
この新しいFKMエラストマーは、エッチングやCVDプロセスで一般的な酸素やフッ素ベースの化学物質に対応するよう設計されています。Fusion® F07は、連続使用温度が180°C(355°F)まで、過酷な条件下での期待寿命が6ヶ月、そして220°C(428°F)までの耐熱性を誇ります。装置の故障が避けられない場合は、グリーンツイードをお選びください。