Fusion® F07
满足业界最苛刻的 SubFab 应用要求
半导体 SubFab 操作员深知停机和维护成本高昂,因此 Fusion® F07 专为满足并超越 SubFab 环境的苛刻要求而设计。
这种新型FKM弹性体目前以单个O型圈或真空系统管路组件的形式供应,专为应对蚀刻和CVD工艺中常见的含氧和含氟化学物质而设计。 Fusion® F07 具有高达 355°F(180°C)的连续工作温度,在极端条件下预期使用寿命为 6 个月,瞬时工作温度可达 428°F(220°C)。当设备绝不能发生故障时,请选择格瑞特維。
