Fusion® F07

Für die anspruchsvollsten SubFab-Anwendungen der Branche

Betreiber von Halbleiter-SubFabs wissen, dass Ausfallzeiten und Wartungsarbeiten kostspielig sind - deshalb wurde der Fusion® F07 entwickelt, um die aggressiven Anforderungen von SubFab-Umgebungen zu erfüllen und zu übertreffen.

Dieses neue FKM-Elastomer, das derzeit als einzelne O-Ringe oder als Baugruppen für Vakuumsystemleitungen erhältlich ist, eignet sich für sauerstoff- und fluorbasierte Chemikalien, die bei Ätz- und CVD-Prozessen üblich sind. Fusion® F07 verfügt über eine Dauergebrauchstemperatur von bis zu 180°C (355°F) mit einer erwarteten Lebensdauer von 6 Monaten unter extremen Bedingungen und einer Ausweichgebrauchstemperatur von 220°C (428°F). Wenn ein Ausfall der Ausrüstung keine Option ist, wählen Sie Greene Tweed.