Fusion® F07

為業界最嚴苛的晶圓廠應用而生

半導體晶圓廠操作人員深知停機與維護成本高昂——正因如此，Fusion® F07 的設計旨在滿足並超越晶圓廠環境的嚴苛要求。

這款新型 FKM 彈性體目前以單獨 O 型環或真空系統管路組件的形式供應，專為應對蝕刻和 CVD 製程中常見的含氧及含氟化學物質而設計。 Fusion® F07 具備高達 355°F (180°C) 的連續工作溫度，在極端條件下預期使用壽命為 6 個月，且短暫工作溫度可達 428°F (220°C)。當設備絕不能發生故障時，請格瑞特維。