融合 ® F07

適用於業界要求最苛刻的 SubFab 應用

半導體 SubFab 運營商知道停機時間和維護成本高昂，這就是為什麼 Fusion® F07 旨在滿足並超越 SubFab 環境的迫切需求。

這種新型 FKM 彈性體目前可作為真空系統生產線的單個 O 形圈或元件使用，用於處理蝕刻和 CVD 工藝中常見的氧基和氟基化學成分。Fusion® F07 在高達 355°F （180°C） 的溫度下仍能保持其外形和功能，並在極端條件下至少預期使用六個月。當設備故障不是一種選擇時，選擇格林-特威德。