SubFab은 그 위의 클린룸 환경의 운영 효율성을 유지하는 데 중요합니다. 웨이퍼는 에칭 및 증착을 포함한 다양한 공정을 거치기 때문에 가연성 물질, 산화제 및 부식제와 같은 폐수 가스는 안전한 폐기를 위해 배기 라인을 통해 SubFab으로 셔틀됩니다.

SubFab으로 유입되는 가스는 배기 라인 내에서 응축되어 입자가 침전되어 조기 장비 고장으로 이어질 수 있습니다. 열 관리 시스템은 가스 분자를 계속 움직이게 하기 위해 배기 라인 내의 온도를 높이는 데 사용됩니다. 응축수를 피하기 위해 더 높은 온도로의 이동은 펌프, 저감 장치 및 밸브를 포함한 장비에서 신뢰할 수 있는 씰의 필요성을 높입니다.

씰 재료 선택 고려 사항에는 반응성이 높은 가스 및 라디칼 종에 대한 온도 및 내화학성이 포함됩니다. SubFab 애플리케이션에 잘못된 재료를 선택하거나 설치하면 씰의 무결성이 손상되고 위의 클린룸 생산에 영향을 미칠 수 있는 계획되지 않은 유지 관리 이벤트가 발생할 수 있습니다.

SubFab에서는 엘라스토머가 씰 재료로 선택되는 경우가 많습니다. 엘라스토머 씰은 유연하고 내구성이 있으며 설치가 쉽고 다양한 표면에 잘 맞습니다. FKM 및 FFKM을 포함한 플루오로 엘라스토머는 종종 SubFab의 밀봉 재료로 선택됩니다.

범용 FKM은 우수한 화학적 호환성과 고온 기능이 특징입니다. 기술 혁신으로 팹 조건은 더욱 공격적으로 변하고 있으며 SubFab에서 범용 FKM의 한계를 뛰어 넘고 있습니다. Greene Tweed의 고성능 Fusion® F10 은 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 고불소화 엘라스토머 소재로, 다른 FKM이 고장나기 시작하는 기능을 확장합니다.

ALD 및 epi SiGe 공정에서 발견되는 것과 같은 새로운 반응성 화학 물질은 응축 가능성이 더 높으며 가스가 장비에 입자를 침착시키는 것을 방지하기 위해 포어 라인 및 배기 라인의 온도를 높이는 열 관리 시스템이 필요합니다. 이러한 라인 내의 온도가 상승함에 따라 많은 주요 장치 제조업체는 안전과 공구 가동 시간을 보장하기 위해 Chemraz® SFX와 같은 FFKM으로 전환했습니다.

Chemraz SFX는 최대 300°C/572°F의 더 높은 작동 온도와 FKM보다 더 넓은 내화학성을 자랑하므로 Chemraz®® SFX를 채택하면 향후 호환성을 보장하는 데 도움이 됩니다. 문서화된 현장 경험을 통해 이러한 온도 범위의 SubFab 폐수 어레이에 대한 내화학성이 입증되었으며, 내부 Greene Tweed 분석에 따르면 SFX는 수분과 산소의 포함을 제한하여 인라인 화학적 상호 작용으로부터 추가적인 보호 기능을 제공합니다.

올바른 O-링이 KF 피팅 어셈블리에 올바르게 설치되었는지 확인하면 조기 고장 가능성이 최소화됩니다. 일반적으로 검은색인 SubFab에서 일반적으로 사용되는 다른 재료와 달리 Chemraz® SFX는 회색이고 F10은 크림색이므로 다른 재료와 쉽게 구별할 수 있고 잘못된 재료가 설치될 가능성이 줄어듭니다.

또한 열악한 조건에서 Chemraz® SFX의 성능 이점은 혁신적인 씰 설계에 달려 있습니다. Greene Tweed의 맞춤형 엔지니어링 어셈블리는 극한 공정 환경에서 KF 피팅의 기계적 한계를 극복하고 씰 성능을 개선합니다. 맞춤형 어셈블리는 스테인리스 스틸, 알루미늄 및 PTFE를 포함한 다양한 재료로 제공됩니다. Chemraz® SFX 솔루션은 적절한 재료와 씰이 사용되고 있는지 확인하기 위한 추가 보호 장치로 녹색 어셈블리로 제공됩니다.

Greene Tweed 엔지니어는 범용 및 고성능 컴파운드를 포함한 광범위한 엘라스토머 소재 포트폴리오와 반도체 산업의 전문성을 바탕으로 각 응용 분야를 신중하게 평가하고 가장 적합한 재료를 추천하여 우수한 소유 비용을 보장합니다.

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