SubFabは、その上のクリーンルーム環境の運用効果を維持するために重要な役割を担っています。ウェーハのエッチングや成膜などの工程で、可燃物、酸化物、腐食物などの排ガスが排気ラインを通ってSubFabに送られ、安全に処理されます。

SubFabに流入したガスは排気管内で凝縮し、パーティクルが堆積して機器の早期故障につながる可能性があります。ガス分子の動きを維持するために、排気管内の温度を上昇させる熱管理システムが利用されています。凝縮を防ぐために高温にすることで、ポンプ、排ガス処理装置、バルブなどの機器に信頼性の高いシールが必要になります。

シール材の選定には、温度や反応性の高いガスやラジカル種に対する耐薬品性が考慮されます。誤った材料を選択したり、SubFabアプリケーションに取り付けたりすると、シールの完全性が損なわれ、予定外のメンテナンスが発生し、上記のクリーンルームの生産に影響を与える可能性があります。

サブファブでは、エラストマーがシール材として選ばれることが多い。エラストマーシールは柔軟で耐久性があり、取り付けが簡単で、さまざまな表面に対してよく適合する。FKMやFFKMなどのフッ素系エラストマーは、SubFabのシール材としてよく選ばれている。

汎用FKMは、良好な化学的親和性と高温能力を特徴としています。技術革新に伴い、製造現場の環境はより厳しくなり、サブファ ブにおける汎用FKMの限界に挑戦しています。グリーンツイードの高性能Fusion® F10は、半導体業界向けに特別に設計された高フッ素系エラストマー材料で、他のFKMが破壊し始める領域まで能力を拡張します。

ALDやエピSiGeプロセスで見られるような新しい反応性化学物質は、凝縮の可能性が高く、ガスが装置上に堆積しないように前線と排気ラインの温度を上げる熱管理システムが必要です。これらのライン内の温度上昇に伴い、多くの大手デバイスメーカーは、安全性と装置の稼働率を確保するために、Chemraz® SFXなどのFFKMに切り替えています。

Chemraz® SFXは、FKMよりも高い動作温度（300℃/572°F）と幅広い耐薬品性を備えているため、Chemraz® SFXの採用は将来の互換性を確保するのに役立ちます。また、グリーンツィード社の社内分析によると、SFXは水分や酸素の混入を制限することにより、インラインでの化学的相互作用からさらに保護されることが示されています。

正しいOリングがKFフィッティングアセンブリに正しく取り付けられていることを確認することで、早期故障の可能性を最小限に抑えることができます。サブファブで一般的に使用される他の材料は通常黒色ですが、Chemraz® SFXは灰色、F10はクリーム色なので、他の材料と区別しやすく、間違った材料が取り付けられている可能性を低くします。

さらに、Chemraz® SFXの過酷な条件下での性能の優位性は、その革新的なシール設計にあります。グリーンツイードのカスタム設計アセンブリは、過酷なプロセス環境におけるKF継手の機械的な制約を克服し、シール性能を向上させます。このカスタムアセンブリーは、ステンレス鋼、アルミニウム、PTFEなど、さまざまな材質で提供されています。Chemraz® SFX ソリューションは、適切な材料とシールが使用されていることを確認するための追加セーフガードとして、緑色のアセンブリで提供されています。

汎用・高性能コンパウンドを含むエラストマー材料の幅広いポートフォリオと半導体業界の専門知識を背景に、グリーンツィードのエンジニアは各アプリケーションを慎重に評価し、最適な材料を推奨することで、優れた所有コストを保証しています。

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