La SubFab es fundamental para mantener la eficacia operativa del entorno de la sala blanca situada sobre ella. A medida que las obleas se someten a diversos procesos, como el grabado y la deposición, los gases efluentes, como los inflamables, oxidantes y corrosivos, se transportan a través de los conductos de escape a la SubFab para su eliminación segura.

Los gases que fluyen hacia el interior de la SubFab se condensan dentro de los conductos de escape, lo que puede depositar partículas y provocar fallos prematuros del equipo. Los sistemas de gestión térmica se utilizan para aumentar la temperatura en los conductos de escape y mantener las moléculas de gas en movimiento. La migración hacia temperaturas más altas para evitar la condensación aumenta la necesidad de juntas fiables en los equipos, incluidas bombas, unidades de reducción y válvulas.

Entre las consideraciones a tener en cuenta a la hora de seleccionar el material de la junta se incluyen la temperatura y la resistencia química a gases altamente reactivos y especies radicales. Seleccionar o instalar el material incorrecto en una aplicación SubFab podría comprometer la integridad de la junta y, posiblemente, provocar un mantenimiento imprevisto que podría afectar a la producción en la sala limpia mencionada.

En la SubFab, a menudo se eligen elastómeros como material de estanquidad. Las juntas elastoméricas son flexibles, duraderas, fáciles de instalar y se adaptan bien a muchas superficies diferentes. Los fluoroelastómeros, incluidos los FKM y los FFKM, se eligen a menudo como materiales de estanquidad para la SubFab.

Los FKM de uso general presentan una buena compatibilidad química y son aptos para altas temperaturas. Con la innovación tecnológica, las condiciones de las fábricas son cada vez más agresivas y superan los límites de los FKM de uso general en el subfabricado. El Fusion® F10 de alto rendimiento de Greene Tweed es un material elastómero altamente fluorado diseñado específicamente para la industria de semiconductores que amplía la capacidad donde otros FKM empiezan a estropearse.

Los productos químicos reactivos emergentes, como los que se encuentran en los procesos ALD y epi SiGe, tienen una mayor probabilidad de condensación y requieren sistemas de gestión térmica que aumenten las temperaturas en las líneas de entrada y salida para evitar que los gases depositen partículas en los equipos. A medida que aumentan las temperaturas en estas líneas, muchos de los principales fabricantes de dispositivos se han pasado a los FFKM, como Chemraz® SFX, para garantizar la seguridad y el tiempo de funcionamiento de las herramientas.

Dado que Chemraz® SFX presenta temperaturas de funcionamiento más elevadas, de hasta 300°C/572°F, y una resistencia química más amplia que los FKM, la adopción de Chemraz® SFX ayuda a garantizar la compatibilidad futura. La experiencia de campo documentada ha demostrado la resistencia química a una serie de efluentes SubFab en estos rangos de temperatura, y el análisis interno de Greene Tweed ha demostrado que SFX ofrece protección adicional contra la interacción química en línea al limitar la inclusión de humedad y oxígeno.

Asegurarse de que se instala correctamente la junta tórica adecuada en el conjunto del racor KF minimiza la posibilidad de un fallo prematuro. A diferencia de otros materiales utilizados habitualmente en SubFab, que suelen ser de color negro, Chemraz® SFX es de color gris y F10 es de color crema, por lo que son más fáciles de distinguir de otros materiales y disminuye la posibilidad de que se instale el material incorrecto.

Además, la ventaja de rendimiento de Chemraz® SFX en condiciones duras se basa en su innovador diseño de sellado. El conjunto diseñado a medida por Greene Tweed supera las limitaciones mecánicas de los racores KF en entornos de proceso extremos y mejora el rendimiento de la junta. El conjunto a medida está disponible en distintos materiales, como acero inoxidable, aluminio y PTFE. Las soluciones Chemraz® SFX se ofrecen en un conjunto de color verde como garantía adicional de que se está utilizando el material y la junta adecuados.

Respaldados por una amplia cartera de materiales elastoméricos, que incluye compuestos de uso general y de alto rendimiento, y por su experiencia en el sector de los semiconductores, los ingenieros de Greene Tweed evalúan detenidamente cada aplicación y recomiendan el material más adecuado para ella, garantizando así un coste de propiedad superior.

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