Chemraz® G57
半导体
一种用于半导体的多功能弹性材料
产品细节
增加正常运行时间和加工产量
您是否需要定制的晶圆加工密封件，以满足侵蚀性干式等离子体系统的要求？Chemraz® G57的独特配方提供了更好的抗等离子体能力，并将污染降到最低，从而在静态和动态应用中减少停机时间，提高晶圆加工的产量。
Chemraz® G57是一种FFKM化合物，具有高温能力和出色的O2等离子体兼容性，拥有出色的耐化学性，最高工作温度可达572℉（300℃）。
特点和优点
- 在各种腐蚀性的化学环境中具有出色的抗等离子体能力
- 高达300°C的服务温度，572°F
- 最小的微粒化
- 硬度较低，易于安装
- 在动态应用中具有较低的粘着性
- 可提供O型环、定制CX和板坯--不受供应限制
- 全球制造能力
行业和应用
为高要求应用而设计的高性能弹性体
Chemraz® G57产品被设计用于广泛的应用。无论环境要求有多高，我们的团队都会与您合作，确定适合工作的解决方案。
应用包括。
- 端点窗口
- 密封件
- Dy等离子体蚀刻
- 取证
- 远程等离子体清洗
- 干灰化
- 氧化作用
- 扩散
- 金属化
可靠的性能
Chemraz® G57是一种成熟、可靠的工程部件解决方案。它可以以O型环、定制CX和板块的形式提供。
增强的抗血浆能力
