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半导体

用于精密半导体制造的高性能解决方案

O 形圈计算器

CHEMRAZ® 半导体

半导体手册

格瑞特維 解决方案可承受最恶劣的环境,为领先的半导体制造厂、代工厂和原始设备制造商提供无与伦比的可靠性、减少停机时间并提高效率。

O 形圈分析工具

为半导体行业设计创新解决方案超过 35 年。

采用先进的材料和设计,减少停机时间,提高产量。

图表
ETCH 解决方案
沉积解决方案
先进包装

ETCH 解决方案

极端等离子环境下的可靠性

格瑞特维为氧等离子体和腐蚀性等离子体化学以及广泛的温度和真空条件提供优化的密封解决方案,确保在关键的干法和湿法蚀刻应用中性能始终如一。我们的设计可在苛刻的环境中减少颗粒,提高晶片产量。
  • 定制材料可耐受多种侵蚀性化学物质
  • 独特的干法蚀刻密封解决方案以及湿法/清洁加工组件解决方案
  • 减少颗粒,提高晶片产量

沉积解决方案

在各种温度和化学性质下的耐用性

格瑞特维为从 ALD 到 PECVD 到电镀等多种类型的沉积提供密封解决方案。从 O 形环到粘合缝隙阀,再到用于电镀的先进边缘排斥密封件,我们的解决方案可承受极端温度和化学接触,具有卓越的耐用性和性能。
  • 适用于多种沉积类型的各种设计和材料
  • 确保在极端温度和化学性质下的耐用性

先进包装

新兴包装技术的精度

格瑞特维为包括 ECD 在内的许多先进封装工艺开发定制密封解决方案。我们的设计可提高产量,减少晶圆级封装过程中的污染,确保尖端技术的顺利运行。
  • 用于先进包装工艺的定制密封件
  • 提高产量,减少晶片包装污染
CHEMRAZ® 弹性体
ONX® 复合材料
FUSION® 弹性体

CHEMRAZ® 弹性体

恶劣环境下的可靠密封

Chemraz® FFKM弹性体具有优异的耐化学性,可确保在极端的等离子和热条件下发挥可靠的性能。它们专为要求苛刻的应用而设计,具有无与伦比的耐用性和使用寿命。
  • 可承受腐蚀性化学品和极端温度
  • 延长高压环境下的密封件寿命
  • 卓越的性能和可靠性

ONX® 复合材料

实现精密性能的高强度材料

ONX® 复合材料设计用于提高静电吸盘元件的耐用性和精度。它们非常适合关键应用,具有稳定的性能和可靠性。
  • 可承受高负荷和极端条件
  • 重量轻,专为实现最佳效率而设计
  • 持久耐用的材料带来卓越的运行稳定性

FUSION® 弹性体

应对密封难题的定制解决方案

我们的 Fusion (TM) FKM 解决方案专为满足最苛刻的应用而量身定制,材料选择范围广泛。它们专为满足您工厂的特定需求而设计,可提供可靠的长期解决方案。
  • 耐极端温度和刺激性化学品
  • 可定制设计,满足独特的应用需求
  • 提供稳定可靠的密封性能

ETCH 解决方案

极端等离子环境下的可靠性

格瑞特维为氧等离子体和腐蚀性等离子体化学以及广泛的温度和真空条件提供优化的密封解决方案,确保在关键的干法和湿法蚀刻应用中性能始终如一。我们的设计可在苛刻的环境中减少颗粒,提高晶片产量。

  • 定制材料可耐受多种侵蚀性化学物质
  • 独特的干法蚀刻密封解决方案以及湿法/清洁加工组件解决方案
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在各种温度和化学性质下的耐用性

格瑞特维为从 ALD 到 PECVD 到电镀等多种类型的沉积提供密封解决方案。从 O 形环到粘合缝隙阀,再到用于电镀的先进边缘排斥密封件,我们的解决方案可承受极端温度和化学接触,具有卓越的耐用性和性能。

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CHEMRAZ® 弹性体

恶劣环境下的可靠密封

Chemraz® FFKM弹性体具有优异的耐化学性,可确保在极端的等离子和热条件下发挥可靠的性能。它们专为要求苛刻的应用而设计,具有无与伦比的耐用性和使用寿命。

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  • 延长高压环境下的密封件寿命
  • 卓越的性能和可靠性
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ONX® 复合材料

实现精密性能的高强度材料

ONX® 复合材料设计用于提高静电吸盘元件的耐用性和精度。它们非常适合关键应用,具有稳定的性能和可靠性。

  • 可承受高负荷和极端条件
  • 重量轻,专为实现最佳效率而设计
  • 持久耐用的材料带来卓越的运行稳定性
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FUSION® 弹性体

应对密封难题的定制解决方案

我们的 Fusion (TM) FKM 解决方案专为满足最苛刻的应用而量身定制,材料选择范围广泛。它们专为满足您工厂的特定需求而设计,可提供可靠的长期解决方案。

  • 耐极端温度和刺激性化学品
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FUSION® 解决方案

其他资源:

半导体游戏手册:

密封解决方案和材料综合指南


化合物半导体:

封条:令人信服的格瑞特維


博客

半导体密封问题解答


网络研讨会:

解决 APC(钟摆阀)的密封难题


案例研究:

在等离子应用中保护和延长静电卡盘寿命的最佳做法

半导体游戏手册: 密封解决方案和材料综合指南


化合物半导体: 密封件:令人信服的格瑞特維


博客: 半导体密封问题解答


网络研讨会: 解决 APC(钟摆阀)的密封难题


案例研究: 等离子应用中保护和延长静电卡盘寿命的最佳实践



可信赖的解决方案,值得信赖的专业知识

35 年来,格瑞特維 一直与领先的半导体制造厂和原始设备制造商合作,提供创新的解决方案,以应对业界最严峻的挑战。从先进材料到精密设计,我们的产品推动了性能和效率的提高。

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延长密封件寿命
延长半导体应用中密封圈寿命的三个提示
MSE 密封件
以下是你可能想在半导体应用中尝试金属弹簧动力密封的原因
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