Fusion® F07

Pour les applications subfab les plus exigeantes de l'industrie

Les opérateurs de sous-fabriques de semi-conducteurs savent que les temps d'arrêt et la maintenance sont coûteux. C'est pourquoi Fusion® F07 est conçu pour répondre et dépasser les exigences agressives des environnements de sous-fabriques. Actuellement disponible sous forme de joints toriques individuels ou d'assemblages pour les lignes de systèmes sous vide, ce nouvel élastomère FKM est conçu pour supporter les produits chimiques à base d'oxygène et de fluor courants dans les processus de gravure et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).

Fusion® F07 conserve sa forme et sa fonction à des températures allant jusqu'à 180°C (355°F) et a une durée de vie minimum de six mois. Lorsque la défaillance d'un équipement n'est pas envisageable, choisissez Greene Tweed.

Fonctionnalités et avantages

• Meilleure performance plasma dans les chimies à base d'oxygène et de fluor que le FKM standard
• Meilleur coût total de possession lorsque l'application ne nécessite pas de composé FFKM
• Durée de vie minimale prévue de six mois
• Remplaçable par d'autres joints standard de l'industrie (KF/ISO).
• L'anneau extérieur bleu facilite l'identification lors de l'installation et du remplacement.
• Joints toriques disponibles individuellement ou en tant qu'ensemble