Fusion® F07
半導體
產品說明
功能與優勢
產品說明
針對業界最嚴苛的晶圓製造後製程應用
半導體晶圓廠操作人員深知停機與維護成本高昂——正因如此，Fusion® F07 專為滿足並超越晶圓廠環境的嚴苛要求而設計。此新型氟碳橡膠（FKM）彈性體現以單體O型環或真空系統管線組件形式供應，能有效處理蝕刻與化學氣相沉積製程中常見的含氧及含氟化學物質。
Fusion® F07 在高達 355°F（180°C）的溫度下仍能保持其形狀與功能，並擁有至少六個月的預期使用壽命。當設備故障絕非選項時，請選擇 Greene Tweed。
功能與優勢
- 在氧基和氟基化學環境中，其等離子體性能優於標準氟碳橡膠（FKM）
- 當應用不需要使用四氟醯胺（FFKM）化合物時，總擁有成本更為優越
- 最低預期使用壽命為六個月
- 可與其他行業標準（KF/ISO）密封件互換的模壓成型替換件
- 藍色外環便於安裝與更換時辨識
- O型環可單獨購買或作為組件提供
產業與應用：
FUSION® F07 解決方案
可靠性能
專為SubFab設計的高性能氟橡膠彈性體
Fusion® F07 產品系列專為廣泛的半導體應用設計。無論環境條件多麼嚴苛，我們的團隊都將與您攜手，為任務量身打造最適切的解決方案。
應用領域涵蓋：
- ISO-KF真空接頭，包含典型尺寸：KF16、KF25、KF40、KF50、ISO63、ISO80、ISO100、ISO160及ISO200
- 真空系統中的加熱與非加熱管線
Fusion® F07 是一款久經考驗、可靠的工程化組件解決方案。其可提供獨立O型環及組裝件形式。