Fusion® F07
Semiconductor
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO
Para las aplicaciones SubFab más exigentes de la industria
Los operarios de los laboratorios subterráneos de semiconductores saben que el tiempo de inactividad y el mantenimiento son costosos, por eso Fusion® F07 está diseñado para satisfacer y superar las agresivas exigencias de los entornos de los laboratorios subterráneos. Actualmente disponible como juntas tóricas individuales o conjuntos para líneas de sistemas de vacío, este nuevo elastómero FKM está fabricado para soportar los productos químicos basados en oxígeno y flúor habituales en los procesos de grabado y CVD.
Fusion® F07 conserva su forma y función a temperaturas de hasta 180°C (355°F) y tiene una vida útil mínima prevista de seis meses. Cuando el fallo del equipo no es una opción, elija Greene Tweed.
Características y beneficios
- Mejor rendimiento del plasma en químicas basadas en oxígeno y flúor que el FKM estándar
- Mejor coste total de propiedad cuando la aplicación no requiere un compuesto FFKM
- Duración mínima prevista de seis meses
- Sustituible por otras juntas estándar del sector (KF/ISO)
- El anillo exterior azul facilita la identificación durante la instalación y la sustitución
- Juntas tóricas disponibles individualmente o como conjunto
Industrias y aplicaciones:
Un elastómero FKM de alto rendimiento fabricado para SubFab
Los productos Fusion® F07 están diseñados para su uso en una amplia gama de aplicaciones de semiconductores. No importa lo exigente que sea el entorno, nuestro equipo trabaja con usted para determinar la solución adecuada para el trabajo.
Las aplicaciones incluyen:
- Racores de vacío ISO-KF, incluidos los tamaños típicos: KF16, KF25, KF40, KF50, ISO63, ISO80, ISO100, ISO160 e ISO200
- Conductos calefactados y no calefactados en sistemas de vacío
Fusion® F07 es una solución de componentes de ingeniería probada y fiable. Está disponible en forma de juntas tóricas individuales y conjuntos.