全球半导体短缺，再加上持续的需求，给芯片制造商带来了巨大的压力，需要提高产能。虽然半导体制造商正在加紧努力提高产量，政府也在通过CHIPS法案和FABS法案提供资金，以缓解长期挑战，但这些不太可能解决眼前的产能限制。目前，几乎所有的芯片制造商都专注于最大限度地提高产量和生产力，以满足客户的需求。

设备维护以及备件/耗材的正确使用，对于保持晶圆厂的正常运转至关重要。  审慎的材料选择、设计及正确的安装，有助于避免泄漏及其他密封失效问题，这些问题可能导致生产放缓甚至停产，进而造成产能损失。格瑞特維 三十余年来格瑞特維 为业界提供关键密封组件，例如Chemraz® FFKM密封件。我们在芯片制造生产设备所用弹性体密封件的设计、开发和制造领域处于领先地位。

毋庸置疑，更长的密封圈使用寿命将使工厂受益。确保密封圈寿命最大化的一个快速而简单的方法是遵循一些良好的安装方法。 我们在现场看到的许多密封圈故障是由于安装不当造成的，如果使用一些最知名的方法，这些故障是完全可以避免的。在过去几十年里，经过对几种密封材料的广泛测试，我们的工程团队已经开发出了延长半导体应用中O型圈寿命的最佳方法。

安装- 避免使用 "赛道 "的方法来安装密封圈；从一个点开始将密封圈压入压盖，然后绕一圈直到密封圈就位。这可能会导致局部的高拉伸区域，这可能会导致密封圈过度受力位置的小部分开裂。如果安装正确，这将导致过早的泄漏并减少预期的使用寿命。

相反，使用锚点的安装方法，可以更均匀地分布密封圈上的拉伸。

拆卸- 始终使用不会划伤压盖表面的柔软工具。在工厂的地板上经常可以看到金属镐，用来拔出用过的密封件。不幸的是，使用这些工具会划伤压盖表面，并在压盖硬件上形成凹痕。这些凹痕在高真空环境中不可避免地会产生泄漏问题，而且可能非常难以诊断。使用塑料工具是非常可取的，因为它们可以在日常维护中更换密封件时保持压盖的完整性。

难点区域——某些密封件的安装确实比较棘手，包括ESC密封件和末端执行器垫片等小截面密封件。面对此类情况格瑞特維 设计和提供专用安装工具的丰富经验，以减少现场安装失败的可能性。

如需了解如何处理密封问题，请联系格瑞特維。