延長半導體應用中密封件使用壽命的三個技巧
全球半導體短缺，加上持續的需求，給晶元製造商帶來了巨大的壓力，要求他們提高產能。雖然半導體製造商正在加緊努力增加產量，政府正在通過CHIPS法案和FABS法案提供資金以緩解長期挑戰，但這些不太可能解決眼前的產能限制。目前，幾乎所有晶元製造商都專注於最大限度地提高產量和生產率，以滿足客戶的需求。
設備維護和正確使用備件/消耗品對於保持晶圓廠運行至關重要。 仔細的材料選擇、設計和正確的安裝有助於避免洩漏和其他密封故障，這些故障可能會減慢甚至停止生產，並導致生產力損失。 30多年來，Greene Tweed一直為該行業提供關鍵密封部件的支援，例如Chemraz® FFKM密封件。我們是設計、開發和製造用於晶元製造生產設備的彈性體密封件的領導者。
毫無疑問，更長的密封使用壽命將使晶圓廠受益。確保密封件壽命最大化的一種快速簡便的方法是遵循一些良好的安裝實踐。 我們在現場看到的許多密封故障都是安裝不當的結果，如果使用一些最知名的方法，這是完全可以避免的。在過去的幾十年中，經過對幾種密封材料的廣泛測試，我們的工程團隊開發了最佳實踐，以延長半導體應用中O形圈的使用壽命。
安裝 – 避免使用「賽道」方法安裝密封件;開始在某一點將密封件壓入腺體並繞圈直到密封件就位。這可能導致局部區域的高拉伸，這可能導致密封件過應力位置的小部分開裂。如果正確安裝，這會導致過早洩漏並縮短預期使用壽命。
相反，請使用錨點安裝方法，該方法更均勻地將拉伸分佈在密封件上。
拿掉 – 始終使用不會划傷壓蓋表面的軟工具。在晶圓廠地板上找到用於拉出用過的密封件的金屬鎬是很常見的。不幸的是，使用這些工具可能會划傷壓蓋表面並在壓蓋硬體中產生鑿痕。這些氣鑿在高真空環境中不可避免地會產生洩漏問題，並且很難診斷。塑膠工具的使用非常受歡迎，因為它們在日常維護期間更換密封件時可以保持壓蓋的完整性。
故障區域 – 有些密封件很難安裝，包括小橫截面密封件，如 ESC 密封件和末端執行器墊。在這種情況下，Greene Tweed擁有設計和提供獨特安裝工具的經驗，以減少現場安裝失敗的可能性。
請聯繫格林特威德以獲取有關如何處理密封問題的資訊。