Semiconductor
Industrias - Semiconductores
Rendimiento sin precedentes para la fabricación de semiconductores
Innovación experta
Las soluciones de sellado de Greene Tweed combaten los duros plasmas y productos químicos de los procesos de fabricación de obleas, resistiendo el desgaste provocado por la limpieza, la creación de patrones y la deposición.
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Años de experiencia en aplicaciones de semiconductores
Las soluciones de Greene Tweed ofrecen un rendimiento probado para las principales fábricas de semiconductores, fundiciones y fabricantes de equipos originales.
Greene Tweed sigue siendo una empresa innovadora, al ritmo de los explosivos avances de la industria de los semiconductores. Las juntas Chemraz® resisten los plasmas utilizados en los procesos más avanzados de deposición y grabado de obleas. Los componentes compuestos ONX® 600 resisten los productos químicos agresivos utilizados en la fabricación de semiconductores. Nuestras soluciones expertas incluyen capacidades de unión, encapsulado y revestimiento para una protección adicional.
Ingeniería de aplicación experta
Rendimiento bajo presión
Grabado
Cuando la pureza es una necesidad, Greene Tweed ofrece una gama de soluciones para el entorno de vacío de grabado en seco:
- Sellos
- Juntas tóricas
- Sellos E
- Escudos Avalon® para puertas BSV
- Anillos de enfoque
- Sujeciones mecánicas
Mejore la integridad del sellado
Sellos de válvula
Tener que sustituir constantemente los componentes desgastados es caro y provoca tiempos de inactividad innecesarios. Las soluciones personalizadas de sellado de válvulas para la fabricación de semiconductores de Greene Tweed reducen el MTBR (tiempo medio entre reparaciones).
- Mejore la integridad de la estanquidad y reduzca el desgaste con escudos de PTFE
- Simplifique la instalación y evite la tediosa sustitución de juntas tóricas con las soluciones de puerta de válvula de hendidura adherida (BSV) que permiten sustituir unos pocos pernos para completar el montaje de la puerta BSV.
La amplia gama de materiales de Greene Tweed incluye juntas de estanqueidad Chemraz® para puertas de aluminio o acero inoxidable. Este diseño simplificado combina la puerta y la junta en una sola pieza y dura hasta 10 veces más que las típicas juntas tóricas de perfluoroelastómero.
Suba la temperatura
Manejo de obleas
Las aplicaciones de manipulación de obleas están sometidas a altas temperaturas y ácidos fuertes. ONX® 600 de Greene Tweed, un compuesto reforzado con fibra de carbono a base de fluoropolímero, es un material de alta resistencia y pureza fabricado para soportar estas duras condiciones.
Nuestros expertos diseñan componentes como almohadillas de manipulación de obleas (colmillos) para robots que transfieren obleas durante procesos como el dopaje, la implantación iónica, el grabado y la deposición de películas finas para:
- Evitar adherirse a la hoja del robot.
- Evitar que la oblea salga volando de la hoja del robot.
- Dar resistencia a altas temperaturas para obleas calientes.
- Proporcionar resistencia al desgaste en la hoja del robot.
- Reducir la adherencia con acabados superficiales patentados en las almohadillas.
Impulsar la producción de semiconductores
Galvanizado
Mejore el rendimiento, prolongue la vida útil de la junta y reduzca las adherencias con las soluciones de sellado de Greene Tweed.
Enduro™ LF10 es un recubrimiento conformado delgado a base de PTFE que fortalece los componentes en equipos de fabricación como elastómeros, termoplásticos o metales.
Al maximizar la superficie de la oblea, los productos de exclusión de bordes Greene Tweed le permiten procesar más virutas.
Recursos de semiconductores
Fusion® F07
Métodos de evaluación de la estanqueidad
Soluciones acuosas de semiconductores
Ficha técnica de Chemraz® 541
Guía de compatibilidad de fluidos elastómeros
Productos testados en la industria
Cuando no puede fallar, elija el elastómero de alta calidad
¿Necesita una junta tórica de elastómero o una solución de estanquidad fabricada para soportar las condiciones más extremas? Chemraz® es el elastómero de mayor rendimiento de Greene Tweed y el material FFKM definitivo. Con temperaturas nominales de hasta 315°C (599°F), compatibilidad química casi universal y la mayor resistencia química de todos los materiales elastoméricos, Chemraz® es la mejor elección para las aplicaciones de semiconductores más exigentes.
Juntas para entornos de semiconductores exigentes
En entornos con altas temperaturas y productos químicos agresivos, las juntas tóricas Greene Tweed pueden utilizarse como junta en sí o como elemento activador en juntas de PTFE, tipo tapón. Las juntas tóricas Chemraz® FFKM y ofrecen un rendimiento probado en aplicaciones de semiconductores.
Rendimiento fiable y asequible
Capaz de soportar temperaturas extremas y productos químicos corrosivos, ONX® 600 es un compuesto de alto rendimiento y bajo coste fabricado para componentes de ingeniería de precisión destinados a la fabricación de semiconductores.
Resistencia a la temperatura extrema y a la corrosión
La cartera de Greene Tweed ofrece una gama de materiales diseñados para la manipulación y limpieza de obleas en entornos volátiles.
Nuestros expertos trabajan con usted para desarrollar componentes de materiales compuestos o termoplásticos que ofrezcan un rendimiento y una fiabilidad superiores en comparación con las piezas metálicas estándar de procesamiento de obleas individuales y de limpieza/grabado en húmedo.
