Semiconductor
Industrias - Semiconductores
Soluciones avanzadas para la fabricación de semiconductores
Productos innovadores
Resiste el desgaste de la limpieza, el modelado y la deposición de obleas. Aumente la productividad. Reduzca la contaminación y los costes. Nuestras soluciones de sellado combaten los plasmas y productos químicos agresivos en los procesos de fabricación de obleas.
saltar a:
20+
Años de experiencia en el diseño de soluciones para aplicaciones de semiconductores
Greene Tweed es el primero del país en utilizar la fabricación en sala blanca. Las principales fábricas de semiconductores, fundiciones y OEM confían en nuestras soluciones para sus aplicaciones críticas.
Hemos evolucionado nuestro diseño y desarrollo de sellado para mantenernos actualizados con el avance de la industria de los semiconductores.Los sellos Chemraz® soportan los plasmas utilizados en la deposición de vanguardia y el procesamiento de obleas de grabado.Los componentes compuestos ONX® 600 resisten los productos químicos agresivos que se utilizan en la fabricación de semiconductores. Nuestra gama de soluciones incluye capacidades de unión, encapsulación y revestimiento para una protección adicional.
Ingeniería de aplicación experta
Rendimiento bajo presión
Grabado
El grabado es un agresivo proceso que elimina las capas externas de la superficie de una oblea durante la fabricación bombardeándola con iones. Greene Tweed crea productos para el entorno de vacío de grabado en seco:
- Sellos
- Juntas tóricas
- Sellos E
- Escudos Avalon® para puertas BSV
- Anillos de enfoque
- Sujeciones mecánicas
Mejore la integridad del sellado
Sellos de válvula
Elaboramos soluciones de sellado de válvulas de fabricación de semiconductores con una variedad de beneficios:
- Mejore la integridad del sellado y reduzca el desgaste. Nuestro escudo PTFE protege contra la exposición del proceso a los sellos y prolonga su vida útil.
- Simplifique la instalación y evite retrasos en el reemplazo de la junta tórica. Las soluciones de puerta con válvula de ranura adherida (BSV) permiten reemplazar algunos pernos para completar el ensamblaje de la puerta BSV.
Los materiales de nuestra cartera, como Chemraz®, unen los sellos a las puertas de aluminio o acero inoxidable. Esto une la puerta y el sello en una misma pieza para eliminar las tradicionales líneas de separación moldeadas y limitar la generación de partículas. Nuestros diseños adheridos duran hasta 10 veces más que las juntas tóricas típicas de perfluoroelastómero.
Suba la temperatura
Manejo de obleas
ONX® 600, un compuesto reforzado con fibra de carbono a base de fluoropolímero, es un material de gran pureza y alta resistencia que resiste los productos químicos de gran acidez a altas temperaturas.
Fabricamos componentes como almohadillas de manipulación de obleas (colmillos) para robots que transfieren obleas durante procesos como el dopaje, la implantación de iones, el grabado y la deposición de películas delgadas para:
- Evitar adherirse a la hoja del robot.
- Evitar que la oblea salga volando de la hoja del robot.
- Dar resistencia a altas temperaturas para obleas calientes.
- Proporcionar resistencia al desgaste en la hoja del robot.
- Reducir la adherencia con acabados superficiales patentados en las almohadillas.
Impulsar la producción de semiconductores
Galvanizado
Greene Tweed es líder de la industria en tecnología de exclusión de bordes. Fabricamos nuestros sellos para mejorar el rendimiento, prolongar la vida útil del sello y reducir la adherencia.
Enduro™ LF10 es un recubrimiento conformado delgado a base de PTFE que fortalece los componentes en equipos de fabricación como elastómeros, termoplásticos o metales.
Nuestros productos de exclusión de bordes maximizan la superficie de la oblea para procesar más chips, sellando el borde de la oblea y poniendo fin al enchapado en la parte posterior de la misma.
Recursos de semiconductores
Guía de compatibilidad de fluidos Chemraz
Calculadora de análisis de juntas tóricas y diseño de prensaestopas
Guía de selección de elastómeros Chemraz
Calculadora WR® / AR
Nuevos retos de la subfábrica
Productos testados en la industria
El elastómero premium para las aplicaciones más exigentes
¿Necesita una junta tórica de elastómero o una solución de sellado construida para soportar incluso las condiciones más extremas? Descubra Chemraz®, nuestro elastómero de mayor rendimiento y el material FFKM definitivo. Con clasificaciones de temperatura de hasta 315 °C (599 °F), compatibilidad química casi universal y la resistencia química más amplia de cualquier material elastomérico, Chemraz® es la primera opción para las aplicaciones de semiconductores más desafiantes.
Sellos versátiles para entornos de semiconductores exigentes
Las juntas tóricas son el tipo más común de sello de elastómero y proporcionan soluciones de sellado flexibles y rentables en una amplia gama de aplicaciones exigentes. La junta tórica se puede utilizar como sello en sí mismo o como elemento energizante en sellos tipo tapa de PTFE. Chemraz® FFKM de Greene Tweed se utiliza en juntas tóricas y sellos en entornos con altas temperaturas y/o productos químicos agresivos, como en la industria de semiconductores,
Una solución OEM fiable y asequible
ONX® 600 es un compuesto de alto rendimiento y bajo coste que se utiliza en componentes de ingeniería de precisión para la fabricación de semiconductores. Si necesita una solución de limpieza de obleas resistente capaz de soportar productos químicos corrosivos a altas temperaturas, este es el material para usted.
Resistencia a la temperatura extrema y a la corrosión
Si está buscando componentes de manejo y limpieza de obleas desarrollados para operar en ambientes corrosivos y de alta temperatura, Greene Tweed trabajará con usted para encontrar el material y la solución adecuados para el trabajo.
Estos componentes compuestos/termoplásticos se utilizan normalmente para sustituir a las piezas metálicas de procesamiento de obleas individuales y de limpieza/grabado en húmedo.
