Semi-conducteurs
Industries - Semi-conducteurs
Des performances inégalées pour la fabrication de semi-conducteurs
L'innovation des experts
Les solutions d'étanchéité Greene Tweed combattent les plasmas et les produits chimiques agressifs des processus de fabrication des plaquettes, et résistent à l'usure due au nettoyage, au modelage et à la déposition.
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Plusieurs années d'expérience dans les applications de semi-conducteurs
Les solutions Greene Tweed offrent des performances éprouvées aux principaux fabricants de semi-conducteurs, aux fonderies et aux OEM.
Greene Tweed continue d'innover en suivant les progrès explosifs de l'industrie des semi-conducteurs. Les joints Chemraz® résistent aux plasmas utilisés dans les procédés de pointe de dépôt et de gravure des plaquettes. Les composants composites ONX® 600 résistent aux produits chimiques agressifs utilisés dans la fabrication des semi-conducteurs. Nos solutions expertes comprennent des capacités de collage, d'encapsulation et de revêtement pour une protection supplémentaire.
Ingénierie d'application experte
Performances élevées sous haute pression
Gravure
Lorsque la pureté est un impératif, Greene Tweed propose une gamme de solutions pour l'environnement de gravure sèche sous vide :
- Joints
- Joints toriques
- Joints électroniques
- Protections Avalon® pour portes BSV (Bonded Slit Valve)
- Anneaux de focus
- Attaches mécaniques
Intégrité d'étanchéité améliorée
Joints de soupape
Le remplacement constant de composants usés est coûteux et entraîne des temps d'arrêt inutiles. Les solutions personnalisées de Greene Tweed pour l'étanchéité des vannes de fabrication de semi-conducteurs réduisent le MTBR (temps moyen entre deux réparations).
- Améliorer l'intégrité de l'étanchéité et réduire l'usure grâce aux boucliers en PTFE
- Simplifiez l'installation et évitez le remplacement fastidieux des joints toriques grâce aux solutions BSV (Bonded Slit Valve Door) qui permettent de remplacer quelques boulons pour compléter l'assemblage de la porte BSV.
La vaste gamme de matériaux de Greene Tweed comprend les joints Chemraz® pour les portes en aluminium ou en acier inoxydable. Cette conception simplifiée combine la porte et le joint en une seule pièce et dure jusqu'à 10 fois plus longtemps que les joints toriques en élastomère perfluoré typiques.
Augmentez la température
Manipulation de plaquettes
Les applications de manipulation des wafers sont soumises à des températures élevées et à des acides puissants. L'ONX® 600 de Greene Tweed, un composite renforcé de fibres de carbone à base de fluoropolymère, est un matériau de haute résistance et de haute pureté conçu pour faire face à ces conditions difficiles.
Nos experts conçoivent des composants tels que les patins de manipulation des plaquettes (fangs) pour les robots qui transfèrent les plaquettes au cours de processus tels que le dopage, l'implantation ionique, la gravure et le dépôt de couches minces :
- Éviter l'adhérence sur la lame du robot.
- Empêcher la plaquette de se désolidariser de la lame du robot.
- Résister aux températures élevées des plaquettes échauffées.
- Offrir une résistance à l'usure sur la lame du robot.
- Réduire l'adhérence des finitions de surfaces propriétaires sur les garnitures.
Dopez votre production de semi-conducteurs
Électroplastie
Améliorez les performances, prolongez la durée de vie des joints et réduisez le collage grâce aux solutions d'étanchéité Greene Tweed.
L'Enduro™ LF10 est un revêtement mince à base de PTFE qui fortifie les composants des équipements de fabrication comme les élastomères, les thermoplastiques ou les métaux.
En maximisant la surface des plaquettes, les produits d'exclusion des bords Greene Tweed vous permettent de traiter plus de puces.
Ressources pour les semi-conducteurs
Solutions aqueuses pour semi-conducteurs
Fiche technique Chemraz® 541
Guide de compatibilité des fluides élastomères
Guide de compatibilité des fluides Chemraz
Calculateur d'analyse des joints toriques et de conception des presse-étoupes
Produits éprouvés par l'industrie
Lorsqu'il n'y a absolument pas de risque de défaillance, choisissez l'élastomère de qualité supérieure
Avez-vous besoin d'un joint torique en élastomère ou d'une solution d'étanchéité conçue pour résister aux conditions les plus extrêmes ? Chemraz® est l'élastomère le plus performant de Greene Tweed et le matériau FFKM par excellence. Avec des températures allant jusqu'à 315°C (599°F), une compatibilité chimique quasi universelle et la plus grande résistance chimique de tous les matériaux élastomères, Chemraz® est le premier choix pour les applications les plus exigeantes dans le domaine des semi-conducteurs.
Joints pour les environnements exigeants des semi-conducteurs
Dans les environnements soumis à des températures élevées et à des produits chimiques agressifs, les joints toriques Greene Tweed peuvent être utilisés soit comme joint d'étanchéité proprement dit, soit comme élément d'excitation dans des joints de type capuchon en PTFE. Les joints toriques Chemraz® FFKM offrent des performances éprouvées dans les applications de semi-conducteurs.
Des performances fiables et abordables
Capable de supporter des températures extrêmes et des produits chimiques corrosifs, l'ONX® 600 est un composite de haute performance et de faible coût conçu pour les composants de précision destinés à la fabrication de semi-conducteurs.
Résistance aux températures extrêmes et à la corrosion
Le portefeuille de Greene Tweed offre une gamme de matériaux conçus pour la manipulation et le nettoyage des gaufrettes dans des environnements volatils.
Nos experts travaillent avec vous pour développer des composites ou des composants thermoplastiques qui offrent des performances et une fiabilité supérieures à celles des pièces métalliques standard pour le traitement des plaquettes de silicium et le nettoyage par voie humide.
