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半導體

精密半導體製造的高效能解決方案

O型環計算器

CHEMRAZ® 半導體

半導體實戰指南

專為抵禦最嚴苛環境而設計,格林特威德解決方案為頂尖半導體晶圓廠、代工廠及原始設備製造商提供無可比擬的可靠性、降低停機時間並提升生產效率。

O型環分析工具

為半導體產業設計創新解決方案逾三十五年。

採用先進材料與設計,減少停機時間並提升產量。

資訊圖表
蝕刻解決方案
沉積解決方案
先進包裝技術

蝕刻解決方案

極端等離子體環境下的可靠性

格林特威德為氧等離子體與侵蝕性等離子體化學環境提供優化密封解決方案,適用於廣泛的溫度與真空條件,確保在關鍵乾濕蝕刻應用中維持穩定性能。我們的設計能在嚴苛環境中降低微粒產生,並提升晶圓良率。
  • 針對多種侵蝕性化學物質的抗性,提供客製化材料
  • 獨特的乾式蝕刻封裝解決方案,以及濕式/潔淨製程元件解決方案
  • 減少微粒產生並提升晶圓良率

沉積解決方案

耐受多種溫度與化學環境的耐久性

格林特威德為多種沉積工藝提供密封解決方案,涵蓋原子層沉積(ALD)、光化學氣相沉積(PECVD)、電鍍等多種技術。從O型環、複合式切口閥,到適用於電鍍的先進邊緣排除密封件,我們的解決方案能承受極端溫度與化學侵蝕,展現卓越的耐久性與性能表現。
  • 多種沉積工藝適用於廣泛的設計與材料選擇
  • 確保在極端溫度與化學環境下仍具耐久性

先進包裝技術

新興包裝技術的精準度

格林特威德為先進封裝領域的眾多製程開發客製化密封解決方案,包含電子封裝(ECD)。我們的設計能提升晶圓級封裝的良率並降低污染,確保尖端技術的順暢運作。
  • 先進封裝製程專用密封件
  • 提升晶圓封裝產量並減少污染
CHEMRAZ® 彈性體
ONX® 複合材料
FUSION® 彈性體

CHEMRAZ® 彈性體

惡劣環境下的可靠密封

Chemraz® FFKM彈性體具備卓越的耐化學性,確保在極端等離子與高溫環境下仍能穩定運作。專為嚴苛應用設計,其提供無可比擬的耐久性與長效使用壽命。
  • 耐受強腐蝕性化學品與極端溫度
  • 延長密封件在高壓環境中的使用壽命
  • 專為卓越性能與可靠性而設計

ONX® 複合材料

高強度材料,成就精密性能

ONX®複合材料專為提升靜電吸盤元件的先進耐用性與精密度而設計。其完美適用於關鍵應用領域,能提供穩定一致的性能與可靠性。
  • 承受高負載與極端環境
  • 輕量化設計,專為實現最佳效能而打造
  • 持久耐用的材料,確保卓越的運作穩定性

FUSION® 彈性體

針對嚴苛密封挑戰的客製化解決方案

我們的Fusion™ FKM解決方案專為應對最嚴苛的應用需求而設計,提供廣泛的材料選擇。這些解決方案針對晶圓廠的特定需求量身打造,能提供可靠且長效的解決方案。
  • 耐受極端溫度與強效化學物質
  • 可自訂設計以滿足獨特應用需求
  • 提供穩定可靠的密封性能

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極端等離子體環境下的可靠性

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沉積解決方案

耐受多種溫度與化學環境的耐久性

格林特威德為多種沉積工藝提供密封解決方案,涵蓋原子層沉積(ALD)、光化學氣相沉積(PECVD)、電鍍等多種技術。從O型環、複合式切口閥,到適用於電鍍的先進邊緣排除密封件,我們的解決方案能承受極端溫度與化學侵蝕,展現卓越的耐久性與性能表現。

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格林特威德為先進封裝領域的眾多製程開發客製化密封解決方案,包含電子封裝(ECD)。我們的設計能提升晶圓級封裝的良率並降低污染,確保尖端技術的順暢運作。

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CHEMRAZ® 彈性體

惡劣環境下的可靠密封

Chemraz® FFKM彈性體具備卓越的耐化學性,確保在極端等離子與高溫環境下仍能穩定運作。專為嚴苛應用設計,其提供無可比擬的耐久性與長效使用壽命。

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了解CHEMRAZ®

ONX® 複合材料

高強度材料,成就精密性能

ONX®複合材料專為提升靜電吸盤元件的先進耐用性與精密度而設計。其完美適用於關鍵應用領域,能提供穩定一致的性能與可靠性。

  • 承受高負載與極端環境
  • 輕量化設計,專為實現最佳效能而打造
  • 持久耐用的材料,確保卓越的運作穩定性
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FUSION® 彈性體

針對嚴苛密封挑戰的客製化解決方案

我們的Fusion™ FKM解決方案專為應對最嚴苛的應用需求而設計,提供廣泛的材料選擇。這些解決方案針對晶圓廠的特定需求量身打造,能提供可靠且長效的解決方案。

  • 耐受極端溫度與強效化學物質
  • 可自訂設計以滿足獨特應用需求
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FUSION® 解決方案

其他資源:

半導體戰術手冊:

密封解決方案與材料綜合指南


化合物半導體:

印章:格林·特威德的有力論證


部落格:

解答您所有半導體封裝疑問


線上研討會:

解決APC(擺動閥)的密封挑戰


案例研究:

等離子應用中保護與延長靜電吸盤使用壽命的最佳實踐

半導體實戰手冊: 密封解決方案與材料綜合指南


化合物半導體: 密封件:格林特威德的強有力論據


部落格: 解答您所有半導體封裝疑問


網路研討會: 解決APC(擺動閥)的密封挑戰


案例研究: 等離子應用中保護與延長靜電夾具壽命的最佳實踐



值得信賴的解決方案,值得倚靠的專業技術

三十五載歲月,格林特威德始終與頂尖半導體晶圓廠及原始設備製造商攜手合作,提供創新解決方案以應對產業最嚴峻的挑戰。從先進材料到精密設計,我們的產品持續驅動效能與效率的提升。

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延長您的密封壽命
延長半導體應用中密封件使用壽命的三大秘訣
MSE 認證標章
以下是您可能想在半導體應用中嘗試金屬彈簧活化密封件的原因
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